1. Työkappaleen esijännitys on pieni
Johtuen ionisaationopeutta lisäävän laitteen lisäämisestä, purkausvirran tiheys kasvaa ja bias-jännite pienenee arvoon 0,5 ~ 1 kV.
Suurienergisten ionien liiallisesta pommituksesta aiheutuva takaisinsputterointi ja työkappaleen pinnan vaurioittaminen vähenevät.
2. Lisääntynyt plasman tiheys
Erilaisia törmäysionisaatiota edistäviä toimenpiteitä on lisätty, ja metallin ionisaationopeus on noussut 3 %:sta yli 15 %:iin.Pinnoitekammiossa olevien leuka-ionien ja korkeaenergisten neutraalien atomien, typpi-ionien, korkeaenergisten aktiivisten atomien ja aktiivisten ryhmien tiheys kasvaa, mikä edistää yhdisteiden muodostusta.Yllä olevat erilaiset tehostetut hehkupurkausionipinnoitustekniikat ovat pystyneet saamaan TN kovakalvokerroksia reaktiopinnoituksella korkeammilla plasmatiheyksillä, mutta koska ne kuuluvat hehkupurkaustyyppiin, purkausvirran tiheys ei ole riittävän korkea (vielä mA/cm2 taso ), ja plasman kokonaistiheys ei ole tarpeeksi korkea, ja reaktiopinnoitusyhdisteen päällystysprosessi on vaikea.
3. Pistehaihdutuslähteen pinnoitealue on pieni
Erilaiset tehostetut ionipinnoitustekniikat käyttävät elektronisuihkuhaihdutuslähteitä ja gantua pistehaihdutuslähteenä, joka on rajoitettu tiettyyn aikaväliin gantun yläpuolella reaktiopinnoitusta varten, joten tuottavuus on alhainen, prosessi on vaikea ja sitä on vaikea teollistaa.
4. Elektronisen pistoolin korkeapainekäyttö
Elektronipistoolin jännite on 6 ~ 30 kV ja työkappaleen esijännite 0,5 ~ 3 kV, mikä kuuluu suurjännitekäyttöön ja jolla on tiettyjä turvallisuusriskejä.
——Tämän artikkelin julkaisi Guangdong Zhenhua Technology, aoptisten pinnoituskoneiden valmistaja.
Postitusaika: 12.5.2023