Kuumalankakaaritehostettu plasmakemiallinen höyrypinnoitustekniikka käyttää kuumalankakaaripistoolia kaariplasman lähettämiseen, lyhennettynä kuumalankakaari PECVD-tekniikka.Tämä tekniikka on samanlainen kuin kuumalankakaaripistoolin ionipinnoitustekniikka, mutta ero on siinä, että kuumalankakaaripistoolin ionipinnoituksella saatu kiinteä kalvo käyttää kuumalankapistoolin lähettämää valokaaren elektronivirtaa metallin lämmittämiseen ja haihduttamiseen. upokkaan, kun taas kuumalankakaarivaloa PECVD syötetään reaktiokaasuilla, kuten CH4 ja H2, joita käytetään timanttikalvojen kerrostamiseen.Luottamalla kuumalankapistoolin lähettämään suuritiheyksiseen kaaripurkausvirtaan reaktiiviset kaasu-ionit viritetään erilaisten aktiivisten hiukkasten saamiseksi, mukaan lukien kaasu-ionit, atomi-ionit, aktiiviset ryhmät ja niin edelleen.
Kuumalankakaaren PECVD-laitteessa kaksi sähkömagneettista kelaa on edelleen asennettuna päällystyshuoneen ulkopuolelle, jolloin suuritiheyksinen elektronivirta pyörii liikkeen aikana kohti anodia, mikä lisää törmäys- ja ionisaatiotodennäköisyyttä elektronivirran ja reaktiokaasun välillä. .Sähkömagneettinen käämi voi myös konvergoida kaaripylvääksi koko pinnoituskammion plasmatiheyden lisäämiseksi.Valokaariplasmassa näiden aktiivisten hiukkasten tiheys on korkea, mikä helpottaa timanttikalvojen ja muiden kalvokerrosten kerrostamista työkappaleeseen.
——Tämän artikkelin julkaisi Guangdong Zhenhua Technology, aoptisten pinnoituskoneiden valmistaja.
Postitusaika: 5.5.2023