Plasmasuora polymerointiprosessi

Plasmasuora polymerointiprosessi

Plasmapolymerointiprosessi on suhteellisen yksinkertainen sekä sisäiselle elektrodipolymerointilaitteistolle että ulkoiselle elektrodipolymerointilaitteistolle, mutta parametrien valinta on tärkeämpää plasmapolymeroinnissa, koska parametreilla on suurempi vaikutus polymeerikalvojen rakenteeseen ja suorituskykyyn plasmapolymeroinnin aikana.

Suoran plasmapolymeroinnin toimintavaiheet ovat seuraavat:

(1) Imurointi

Polymeroinnin taustatyhjiö tyhjiöolosuhteissa tulee pumpata arvoon 1,3 × 10-1 Pa.Polymerointireaktioissa, jotka vaativat erityisiä vaatimuksia happi- tai typpipitoisuuden säätelyyn, taustatyhjiön vaatimus on vielä suurempi.

(2) Panosreaktiomonomeeri tai kantokaasun ja monomeerin seoskaasu

Tyhjiöaste on 13-130Pa.Plasmapolymeroinnille, joka vaatii työtä, on valittava sopiva virtauksen ohjaustapa ja virtausnopeus, yleensä 10,100 ml/min.Plasmassa monomeerimolekyylit ionisoituvat ja hajoavat pommittamalla energisiä hiukkasia, mikä johtaa aktiivisiin hiukkasiin, kuten ioneihin ja aktiivisiin geeneihin.Plasman aktivoimat aktiiviset hiukkaset voivat käydä läpi plasmapolymeroinnin kaasufaasin ja kiinteän faasin rajapinnassa.Monomeeri on plasmapolymeroinnin esiasteen lähde, ja syöttöreaktiokaasun ja -monomeerin tulee olla tiettyä puhtautta.

(3) Herätysteholähteen valinta

Plasmaa voidaan tuottaa käyttämällä tasavirta-, suurtaajuus-, RF- tai mikroaaltovirtalähteitä plasmaympäristön aikaansaamiseksi polymerointia varten.Virtalähteen valinta määräytyy polymeerin rakenteen ja suorituskyvyn vaatimusten perusteella.

(4) Purkaustilan valinta

Polymeerivaatimuksia varten plasmapolymerointi voi valita kaksi purkaustilaa: jatkuva purkaus tai pulssipurkaus.

(5) Purkausparametrien valinta

Plasmapolymerointia suoritettaessa purkausparametrit on otettava huomioon plasman parametrien, polymeerin ominaisuuksien ja rakennevaatimusten perusteella.Polymeroinnin aikana käytetyn tehon suuruus määräytyy tyhjökammion tilavuuden, elektrodin koon, monomeerin virtausnopeuden ja rakenteen, polymerointinopeuden sekä polymeerin rakenteen ja suorituskyvyn perusteella.Esimerkiksi jos reaktiokammion tilavuus on 1 l ja RF-plasmapolymerointi otetaan käyttöön, purkausteho on alueella 10-30 W.Tällaisissa olosuhteissa syntynyt plasma voi aggregoitua muodostaen ohuen kalvon työkappaleen pinnalle.Plasmapolymerointikalvon kasvunopeus vaihtelee virtalähteen, monomeerityypin ja virtausnopeuden sekä prosessiolosuhteiden mukaan.Yleensä kasvunopeus on 100 nm/min ~ 1 um/min.

(6) Parametrimittaus plasmapolymeroinnissa

Plasmapolymeroinnissa mitattavia plasmaparametreja ja prosessiparametreja ovat: purkausjännite, purkausvirta, purkaustaajuus, elektronien lämpötila, tiheys, reaktioryhmän tyyppi ja pitoisuus jne.

——Tämän artikkelin julkaisi Guangdong Zhenhua Technology, aoptisten pinnoituskoneiden valmistaja.