Pienkaaren lähteen ionipinnoitusprosessi

Katodikaarilähde-ionipinnoitusprosessi on periaatteessa sama kuin muut pinnoitustekniikat, ja jotkin toiminnot, kuten työkappaleiden asennus ja imurointi, eivät enää toistu.

1. Työkappaleiden pommipuhdistus

Ennen päällystämistä argonkaasua johdetaan päällystyskammioon tyhjöllä 2×10-2Pa.

Kytke päälle pulssibias-virtalähde, jonka käyttösuhde on 20 % ja työkappaleen esijännite 800-1000 V.

Kun kaarivirta kytketään päälle, syntyy kylmäkentän kaarivalopurkaus, joka lähettää valokaaren lähteestä suuren määrän elektronivirtaa ja titaani-ionivirtaa muodostaen tiheästi plasman.Titaani-ioni kiihdyttää injektointiaan työkappaleeseen työkappaleeseen kohdistetun negatiivisen korkean esipaineen alaisena, pommittamalla ja ruiskuttamalla työkappaleen pintaan adsorboitunutta jäännöskaasua ja epäpuhtauksia sekä puhdistaen ja puhdistaen työkappaleen pinnan;Samanaikaisesti elektronit ionisoivat päällystyskammiossa olevaa kloorikaasua ja argon-ionit kiihdyttävät työkappaleen pinnan pommittamista.

Siksi pommituksen puhdistusvaikutus on hyvä.Vain noin 1 minuutin pommituspuhdistus voi puhdistaa työkappaleen, jota kutsutaan "pääkaaripommitukseksi".Titaani-ionien suuren massan vuoksi, jos pientä kaarilähdettä käytetään työkappaleen pommittamiseen ja puhdistukseen liian pitkään, työkappaleen lämpötila on altis ylikuumenemiselle ja työkalun reuna voi pehmetä.Yleisessä tuotannossa pienkaarilähteet kytketään päälle yksitellen ylhäältä alas ja jokaisen pienkaarilähteen pommituspuhdistusaika on noin 1 minuutti.

(1) Titaanipohjakerroksen päällystäminen

Kalvon ja alustan välisen tarttuvuuden parantamiseksi pinnoitetaan yleensä kerros puhdasta titaanisubstraattia ennen titaaninitridillä pinnoittamista.Säädä tyhjiön taso arvoon 5 × 10-2-3 × 10-1 Pa, säädä työkappaleen esijännite 400-500 V ja säädä pulssibias-virtalähteen käyttösuhde 40 % ~ 50 %.Sytytät edelleen pieniä valokaaren lähteitä yksitellen kylmäkentän valokaaripurkauksen muodostamiseksi.Työkappaleen negatiivisen esijännitteen pienenemisen vuoksi titaani-ionien energia pienenee.Työkappaleen saavuttamisen jälkeen sputterointivaikutus on pienempi kuin kerrostumisvaikutus, ja työkappaleeseen muodostuu titaani-siirtymäkerros parantamaan titaaninitridikovakalvokerroksen ja alustan välistä sidosvoimaa.Tämä prosessi on myös työkappaleen kuumennusprosessi.Kun puhdas titaanikohde puretaan, plasman valo on taivaansinistä.

1. Ammoniakkipitoinen kulho kovakalvopinnoite

Säädä tyhjiöaste 3×10:een^-1-5Pa, säädä työkappaleen esijännite 100-200 V ja säädä pulssibias-virtalähteen käyttösuhde 70 % ~ 80 %.Kun typpeä on lisätty, titaani on yhdistelmäreaktio kaaripurkausplasman kanssa titaaninitridikovakalvon kerrostamiseksi.Tässä vaiheessa plasman valo tyhjiökammiossa on kirsikanpunaista.Jos C₂H₂, O₂jne. otetaan käyttöön, TiCN, TiO₂jne. voidaan saada kalvokerroksia.

– Tämän artikkelin julkaisi Guangdong Zhenhua, atyhjiöpinnoituskoneiden valmistaja