Resistenssihaihdutuslähdepinnoite on tyhjöhaihdutuspinnoitusmenetelmä."Haihdutus" tarkoittaa ohutkalvon valmistusmenetelmää, jossa tyhjiökammion pinnoitemateriaalia kuumennetaan ja haihdutetaan siten, että materiaaliatomit tai molekyylit höyrystyvät ja karkaavat pinnalta muodostaen höyryvirtausilmiön, joka osuu pintaan. substraatti tai substraatti, ja lopuksi tiivistetään kiinteän kalvon muodostamiseksi.
Ns. vastushaihdutuslähdepinnoitusmenetelmä on käyttää tantaalia, molybdeeniä, volframia ja muita korkean sulamispisteen metalleja sopivan muotoisen haihdutuslähteen valmistamiseksi, joka on ladattu haihdutettavilla materiaaleilla, päästää ilman virtaamaan läpi, lämmittää suoraan ja haihduta haihdutettavat materiaalit tai laita haihdutettavat materiaalit alumiinioksidiin, berylliumoksidiin ja muihin upokkaisiin epäsuoraa kuumennusta ja haihdutusta varten.Tämä on vastuslämmityshaihdutusmenetelmä.
Thetyhjiöhaihdutuspinnoituskonevastuslämmittimellä lämmitetyllä ja haihduttavalla etuna on yksinkertainen rakenne, alhainen hinta ja luotettava käyttö.Sitä voidaan käyttää matalan sulamispisteen materiaalien haihdutuspäällystämiseen, erityisesti massatuotannossa, jossa pinnoitteen laatuvaatimukset ovat alhaiset.Aluminoitujen peilien valmistuksessa on toistaiseksi käytössä vielä suuri määrä vastuskuumenemisen ja haihdutuksen pinnoitusprosesseja.
Resistanssihaihdutuslähteen haihdutuspinnoitusmenetelmän haittoja ovat, että lämmityksellä saavutettava maksimilämpötila on rajoitettu ja lämmittimen käyttöikä on myös lyhyt.Viime vuosina laitetehdas on ottanut haihtumislähteeksi pitkäikäisen boorinitridin syntetisoiman, kestävän haihdutuslähteen käyttöiän pidentämiseksi.Japanilaisen patenttiraportin mukaan se voi käyttää materiaaleja, jotka koostuvat 20 % ~ 30 % boorinitridistä ja tulenkestäviä materiaaleja, jotka voidaan sulattaa siihen haihdutuslähteen (upokkaan) valmistamiseksi ja päällystää sen pinnan zirkoniumkerroksella, joka sisältää 62 %. ~82 % ja loput ovat zirkonium-pii-seosmateriaaleja.
Postitusaika: 22.4.2023