Tämä laitesarja käyttää magnetronikohteita pinnoitemateriaalien muuntamiseen nanometrin kokoisiksi hiukkasiksi, jotka kerrostuvat substraattien pinnalle ohuiksi kalvoiksi.Rullattu kalvo asetetaan tyhjiökammioon.Sähkökäyttöisen käämirakenteen kautta toinen pää vastaanottaa kalvon ja toinen asettaa kalvon.Se kulkee edelleen kohdealueen läpi ja vastaanottaa kohdehiukkaset muodostaen tiheän kalvon.
Ominaisuus:
1. Matalan lämpötilan kalvon muodostus.Lämpötilalla on vain vähän vaikutusta kalvoon, eikä se aiheuta muodonmuutoksia.Se soveltuu PET-, PI- ja muiden perusmateriaalien kelakalvoille.
2. Kalvon paksuus voidaan suunnitella.Ohuet tai paksut pinnoitteet voidaan suunnitella ja levittää prosessisäädöllä.
3. Useita kohdesijainnin suunnittelu, joustava prosessi.Koko kone voidaan varustaa kahdeksalla maalitaululla, joita voidaan käyttää joko yksinkertaisina metallitauluina tai yhdiste- ja oksidimaaleina.Sitä voidaan käyttää yksikerroksisten kalvojen tai komposiittirakenteisten monikerroksisten kalvojen valmistukseen.Prosessi on erittäin joustava.
Laitteilla voidaan valmistaa sähkömagneettista suojakalvoa, joustavaa piirilevypinnoitetta, erilaisia dielektrisiä kalvoja, monikerroksisia AR-heijastuksenestokalvoja, korkean heijastuksenestokalvon HR-kalvoja, värikalvoja jne. Laitteilla on erittäin laaja valikoima sovelluksia ja yksikerroksinen kalvopinnoitus voidaan suorittaa kertaluonteisella kalvopinnoituksella.
Laitteet voivat ottaa käyttöön yksinkertaisia metallikohteita, kuten Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl jne., tai yhdistelmäkohteita, kuten SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO jne.
Laite on kooltaan pieni, rakenteeltaan kompakti, lattiapinta-alaltaan pieni, energiankulutus alhainen ja säädettävä joustava.Se soveltuu erittäin hyvin prosessitutkimukseen ja -kehitykseen tai pienten erien massatuotantoon.