Tyhjiöplasmapuhdistuslaitteet käyttävät integroitua rakennetta, joka on varustettu RF-ionipuhdistusjärjestelmällä, täysin automaattisella ohjauksella, kätevällä käytöllä ja ylläpidolla.
RF-korkeataajuinen generaattori voi tuottaa tiheää plasmaa, aktivoida, syövyttää ja tuhlata työkappaleen pinnan, poistaa tehokkaasti pölyn ja rasvan tuotteen pinnalta, vapauttaa pintajännityksen ja saada erilaisia muutoksia työkappaleen pinnalle.
Sitä voidaan soveltaa kumiin, lasiin, keramiikkaan, metalliin ja muihin tuotteisiin, ja sitä sovelletaan mikroelektroniikkaan, LCD:hen, LEDiin, LCM:ään, PCB-piirilevyyn, puolijohdepakkauksiin, lääkinnällisiin laitteisiin, biotieteen kokeisiin ja muilla aloilla.