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Ligne de production horizontale de revêtement semi-conducteur double face

  • Revêtement par pulvérisation horizontale double face
  • Applicable aux produits de l'industrie des semi-conducteurs
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    produit

    DESCRIPTION DU PRODUIT

    La ligne de revêtement adopte une structure modulaire, qui peut augmenter la chambre en fonction des exigences de processus et d'efficacité, et peut être revêtue des deux côtés, ce qui est flexible et pratique.Équipé d'un système de nettoyage ionique, d'un système de chauffage rapide et d'un système de pulvérisation magnétron CC, il peut déposer efficacement un revêtement métallique simple.L'équipement a un rythme rapide, un serrage pratique et un rendement élevé.

    La ligne de revêtement est équipée d'un système de nettoyage ionique et de cuisson à haute température, de sorte que l'adhérence du film déposé est meilleure.La pulvérisation cathodique à petit angle avec cible rotative est favorable au dépôt de film sur la surface interne de la petite ouverture.

    1. L'équipement a une structure compacte et une petite surface au sol.
    2. Le système de vide est équipé d'une pompe moléculaire pour l'extraction de l'air, à faible consommation d'énergie.
    3. Le retour automatique du support de matériel permet d'économiser de la main-d'œuvre.
    4. Les paramètres de processus peuvent être tracés et le processus de production peut être surveillé dans l'ensemble du processus pour faciliter le suivi des défauts de production.
    5. La ligne de revêtement a un haut degré d'automatisation.Il peut être utilisé avec le manipulateur pour connecter les processus avant et arrière et réduire le coût de la main-d'œuvre.

    Il peut remplacer l'impression de pâte d'argent dans le processus de fabrication de condensateurs, avec une efficacité supérieure et un coût réduit.
    Il s'applique à Ti, Cu, Al, Cr, Ni, Ag, Sn et autres métaux simples.Il a été largement utilisé dans les composants électroniques à semi-conducteurs, tels que les substrats en céramique, les condensateurs en céramique, les supports en céramique à led, etc.

    La machine peut être conçue selon les exigences des clients Obtenir un devis

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