1) Les cibles cylindriques ont un taux d'utilisation plus élevé que les cibles planes.Dans le processus de revêtement, qu'il s'agisse d'un type magnétique rotatif ou d'une cible de pulvérisation cylindrique de type tube rotatif, toutes les parties de la surface du tube cible traversent en continu la zone de pulvérisation générée devant l'aimant permanent pour recevoir la pulvérisation cathodique, et le la cible peut être uniformément gravée par pulvérisation et le taux d'utilisation de la cible est élevé.Le taux d'utilisation des matériaux cibles est d'environ 80 % à 90 %.
2) Les cibles cylindriques ne seront pas faciles à produire "l'empoisonnement de la cible".Pendant le processus de revêtement, la surface du tube cible est toujours pulvérisée et gravée par des ions, et il n'est pas facile d'accumuler des oxydes épais et d'autres films isolants sur la surface, et il n'est pas facile de produire un «empoisonnement cible».
3) La structure de la cible de pulvérisation cylindrique de type tube cible rotatif est simple et facile à installer.
4) Le matériau du tube cible cylindrique a différents types.cible plane avec cible métallique refroidissement direct par eau, et certaines ne peuvent pas être traitées et formées de cibles cylindriques, telles que la cible In2-SnO2, etc. avec un matériau en poudre pour le pressage isostatique à chaud pour obtenir des cibles en forme de plaque, car la taille ne peut pas être faite grand et cassant, il est donc nécessaire d'utiliser une méthode de brasage et une plaque arrière en cuivre pour l'intégrer puis l'installer sur la base cible.En plus des tuyaux métalliques, des cibles colonnaires peuvent également être pulvérisées sur la surface des tuyaux en acier inoxydable avec divers matériaux qui doivent être revêtus, tels que Si, Cr, etc.
À l'heure actuelle, la proportion de cibles cylindriques pour le revêtement dans la production industrielle est en augmentation.Les cibles cylindriques sont non seulement utilisées pour la machine de revêtement verticale, mais également dans la machine de revêtement rouleau à rouleau.Depuis quelques années, les cibles jumelles planaires sont progressivement remplacées par les cibles jumelles cylindriques.
——Cet article a été publié par Guangdong Zhenhua Technology, unfabricant de machines de revêtement optique.
Heure de publication : 11 mai 2023