Caractéristiques et méthodes de génération du flux d'électrons d'arc

1. Caractéristiques du flux d'électrons de la lumière de l'arc

La densité du flux d'électrons, du flux d'ions et des atomes neutres à haute énergie dans le plasma d'arc généré par la décharge d'arc est beaucoup plus élevée que celle de la décharge luminescente.Il y a plus d'ions gazeux et d'ions métalliques ionisés, d'atomes excités à haute énergie et de divers groupes actifs dans l'espace de revêtement, qui jouent un rôle important dans les étapes de chauffage, de nettoyage et de revêtement du processus de revêtement.La forme d'action du flux d'électrons d'arc est différente de celle du faisceau d'ions, qui ne convergent pas tous en un «faisceau», mais principalement dans un état divergent, on l'appelle donc flux d'électrons d'arc.Parce que les électrons de l'arc circulent vers l'anode, le flux d'électrons de l'arc est dirigé partout où l'électrode positive de l'alimentation de l'arc est connectée, et l'anode peut être une pièce, une anode auxiliaire, un creuset, etc.

2.Méthode de génération de flux d'électrons d'arc

(1) La source de gaz génère un flux d'électrons d'arc : le courant d'arc de la décharge d'arc à cathode creuse et de la décharge d'arc à fil chaud peut atteindre environ 200 A, et la tension de l'arc est de 50 à 70 V.

(2) Une source solide génère un flux d'électrons d'arc : source d'arc cathodique, y compris une petite source d'arc, une source d'arc cylindrique, une grande source d'arc rectangulaire, etc. Le courant d'arc de chaque décharge de source d'arc cathodique est de 80 à 200 A, et la tension d'arc est 18-25V.

Le flux d'électrons d'arc à haute densité et à faible énergie dans deux types de plasmas à décharge d'arc peut générer une ionisation de collision intense avec des atomes de film de gaz et de métal, obtenant plus d'ions de gaz, d'ions métalliques et divers atomes et groupes actifs à haute énergie, améliorant ainsi l'activité globale des ions de la couche de film.

–Cet article a été publié par Guangdong Zhenhua, unfabricant de machines de revêtement sous vide