1. Le biais de la pièce est faible
En raison de l'ajout d'un dispositif pour augmenter le taux d'ionisation, la densité de courant de décharge est augmentée et la tension de polarisation est réduite à 0,5 ~ 1 kV.
La rétropulvérisation provoquée par un bombardement excessif d'ions à haute énergie et l'effet d'endommagement sur la surface de la pièce sont réduits.
2. Augmentation de la densité du plasma
Diverses mesures favorisant l'ionisation par collision ont été ajoutées et le taux d'ionisation des métaux est passé de 3 % à plus de 15 %.La densité des ions chin et des atomes neutres à haute énergie, des ions azote, des atomes actifs à haute énergie et des groupes actifs dans la chambre de revêtement est augmentée, ce qui est propice à la réaction pour former des composés.Les diverses technologies de revêtement ionique à décharge luminescente améliorée ci-dessus ont permis d'obtenir des couches de film dur TN par dépôt de réaction à des densités de plasma plus élevées, mais comme elles appartiennent au type à décharge luminescente, la densité de courant de décharge n'est pas assez élevée (toujours niveau mA/cm2 ), et la densité globale du plasma n'est pas assez élevée, et le processus de revêtement du composé de dépôt par réaction est difficile.
3. La plage de revêtement de la source d'évaporation ponctuelle est petite
Diverses technologies de revêtement ionique améliorées utilisent des sources d'évaporation par faisceau d'électrons et gantu comme source d'évaporation ponctuelle, qui est limitée à un certain intervalle au-dessus de gantu pour le dépôt par réaction, de sorte que la productivité est faible, le processus est difficile et difficile à industrialiser.
4. Fonctionnement haute pression du pistolet électronique
La tension du canon à électrons est de 6 ~ 30 kV et la tension de polarisation de la pièce est de 0,5 ~ 3 kV, ce qui appartient au fonctionnement à haute tension et présente certains risques pour la sécurité.
——Cet article a été publié par Guangdong Zhenhua Technology, unfabricant de machines de revêtement optique.
Heure de publication : 12 mai 2023