1. Technologie CVD thermique
Les revêtements durs sont principalement des revêtements en céramique métallique (TiN, etc.), qui sont formés par la réaction du métal dans le revêtement et la gazéification réactive.Au début, la technologie CVD thermique a été utilisée pour fournir l'énergie d'activation de la réaction de combinaison par l'énergie thermique à une température élevée de 1000 ℃.Cette température convient uniquement au dépôt de TiN et d'autres revêtements durs sur des outils en carbure cémenté.Jusqu'à présent, le dépôt de revêtements composites TiN-Al20 sur des têtes d'outils en carbure cémenté reste une technologie importante.
2. Revêtement ionique à cathode creuse et revêtement ionique à fil chaud
Dans les années 1980, le revêtement ionique à cathode creuse et le revêtement ionique à fil chaud ont été utilisés pour déposer des outils de coupe revêtus.Ces deux technologies de revêtement ionique sont des technologies de revêtement ionique à décharge d'arc, avec un taux d'ionisation du métal allant jusqu'à 20 % ~ 40 %.
3. Revêtement ionique d'arc cathodique
L'émergence du revêtement ionique à arc cathodique a conduit au développement de la technologie de dépôt de revêtements durs sur les moules.Le taux d'ionisation du revêtement d'ions d'arc cathodique est de 60 % à 90 %, ce qui permet à un grand nombre d'ions métalliques et d'ions de gaz de réaction d'atteindre la surface de la pièce et de maintenir une activité élevée, ce qui entraîne un dépôt de réaction et la formation de revêtements durs tels que Étain.À l'heure actuelle, la technologie de revêtement ionique à arc cathodique est principalement utilisée pour déposer des revêtements durs sur des moules.
La source d'arc cathodique est une source d'évaporation à l'état solide sans bain de fusion fixe, et la position de la source d'arc peut être placée arbitrairement, améliorant le taux d'utilisation de l'espace de la salle de revêtement et augmentant la capacité de chargement du four.Les formes des sources d'arc cathodiques comprennent de petites sources d'arc cathodiques circulaires, des sources d'arc colonnaires et des sources d'arc rectangulaires plates de grande taille.Différents composants de petites sources d'arc, de sources d'arc colonnaires et de grandes sources d'arc peuvent être agencés séparément pour déposer des films multicouches et des films nano multicouches.Pendant ce temps, en raison du taux d'ionisation métallique élevé du revêtement ionique à arc cathodique, les ions métalliques peuvent absorber plus de gaz de réaction, ce qui se traduit par une large gamme de processus et une opération simple pour obtenir d'excellents revêtements durs.Cependant, il existe des gouttelettes grossières dans la microstructure de la couche de revêtement obtenue par revêtement ionique à l'arc cathodique.Ces dernières années, de nombreuses nouvelles technologies sont apparues pour affiner la structure de la couche de film, ce qui a amélioré la qualité du film de revêtement ionique d'arc.
——Cet article a été publié par Guangdong Zhenhua Technology, unfabricant de machines de revêtement optique.
Heure de publication : 28 avril 2023