Leéquipement de revêtement sous videest composé de nombreuses pièces précises, qui sont fabriquées par de nombreux processus, tels que le soudage, le meulage, le tournage, le rabotage, l'alésage, le fraisage, etc.En raison de ces travaux, la surface des pièces d'équipement sera inévitablement contaminée par certains polluants tels que la graisse, la saleté d'huile, les copeaux de métal, le flux de soudure, la pâte à polir, les traces de sueur, etc.Ces polluants se volatilisent facilement dans des conditions de vide, affectant ainsi le vide limite de l'équipement.
De plus, ces polluants sous vide issus du traitement mécanique absorbent une grande quantité de gaz dans l'environnement à pression atmosphérique, et à l'état de vide, ces gaz précédemment adsorbés seront également à nouveau libérés, devenant un facteur majeur limitant le vide limite.Pour cette raison, les polluants doivent être éliminés avant que les pièces de la machine de revêtement sous vide ne soient assemblées.
Lors de l'utilisation de l'équipement sous vide, ses composants seront également contaminés.Cependant, la pollution de cette source est principalement causée par les conditions d'utilisation et la pompe à vide.
1. L'évaporation du filament de la jauge à vide dans des conditions de température élevée entraînera la formation d'un film sur l'isolant en céramique, ce qui endommagera sa résistance d'isolation dans une certaine mesure et aura également un certain impact sur la précision de son la mesure;
2. En raison de l'évaporation à haute température, un film métallique se formera à la surface près du filament du canon à électrons dans le vide ;
3. En raison de la pulvérisation de la pièce, la paroi interne de l'équipement de gravure par faisceau ionique sera contaminée par des éclaboussures ;
4. La paroi interne de l'équipement de revêtement par évaporation sous vide sera contaminée par son matériau cible d'évaporation ;
5. Un système de séchage sous vide est souvent utilisé et le système sera contaminé par les substances évaporées.
6. L'huile de pompe à diffusion et l'huile de pompe mécanique dans l'équipement de revêtement sous vide sont également une source majeure de pollution.Après que la machine de revêtement a fonctionné pendant une longue période, un film d'huile peut se former à l'intérieur de l'équipement.
En résumé, l'assainissement sous vide de l'équipement implique l'équipement sous vide, le système sous vide, la production du processus sous vide et d'autres aspects et liens, ainsi que les exigences de l'équipement de revêtement sous vide lui-même et du processus sous vide spécial sur les conditions d'utilisation.Par conséquent, la pollution par le vide est un problème digne d'attention, car ces pollutions affecteront les performances de l'équipement, et une attention doit être portée à un nettoyage régulier ou à tout moment.
Heure de publication : 21 février 2023