Le revêtement de source d'évaporation par résistance est une méthode de base de revêtement par évaporation sous vide."Evaporation" fait référence à une méthode de préparation de film mince dans laquelle le matériau de revêtement dans la chambre à vide est chauffé et évaporé, de sorte que les atomes ou molécules du matériau se vaporisent et s'échappent de la surface, formant un phénomène d'écoulement de vapeur, incident sur la surface de la substrat ou substrat, et finalement condensé pour former un film solide.
La méthode dite de revêtement de source d'évaporation par résistance consiste à utiliser du tantale, du molybdène, du tungstène et d'autres métaux à point de fusion élevé pour créer une forme appropriée de source d'évaporation, qui est chargée de matériaux à évaporer, laisser l'air circuler, chauffer directement et évaporez les matériaux évaporés ou placez les matériaux à évaporer dans de l'alumine, de l'oxyde de béryllium et d'autres creusets pour le chauffage indirect et l'évaporation.C'est la méthode d'évaporation par chauffage par résistance.
Lemachine de revêtement par évaporation sous videchauffé et évaporé par un réchauffeur à résistance présente les avantages d'une structure simple, d'un faible coût et d'une utilisation fiable.Il peut être utilisé pour le revêtement par évaporation de matériaux à bas point de fusion, en particulier pour la production de masse avec de faibles exigences en matière de qualité de revêtement.Jusqu'à présent, il existe encore un grand nombre de procédés de revêtement de chauffage par résistance et d'évaporation mis en œuvre dans la production de miroirs aluminisés.
Les inconvénients de la méthode de revêtement par évaporation de la source d'évaporation par résistance sont que la température maximale pouvant être atteinte par chauffage est limitée et que la durée de vie du réchauffeur est également courte.Ces dernières années, afin d'améliorer la durée de vie de la source d'évaporation à résistance, l'usine d'équipements a adopté le matériau céramique conducteur synthétisé par le nitrure de bore à longue durée de vie comme source d'évaporation.Selon un rapport de brevet japonais, il peut utiliser des matériaux composés de 20 % ~ 30 % de nitrure de bore et des matériaux réfractaires qui peuvent être fusionnés avec lui pour fabriquer la source d'évaporation (creuset) et recouvrir sa surface d'une couche de zirconium contenant 62 % ~ 82%, et le reste sont des alliages de zirconium-silicium.
Heure de publication : 22 avril 2023