De apparatuer oannimt fertikale foardoarstruktuer en klusteryndieling.It kin wurde foarsjoen fan evaporaasjeboarnen foar metalen en ferskate organyske materialen, en kin silisiumwafels fan ferskate spesifikaasjes ferdampe.Útrist mei precision alignment systeem, de coating is stabyl en de coating hat goede repeatability.
GX600 coating apparatuer kin sekuer, lykmjittich en kontrolearber evaporate organyske ljocht-emitting materialen of metalen materialen op it substraat.It hat de foardielen fan ienfâldige filmfoarming, hege suverens en hege kompaktheid.It folsleine automatyske filmdikte real-time tafersjochsysteem kin de repetabiliteit en stabiliteit fan it proses garandearje.It is foarsjoen fan selssmeltende funksje om de ôfhinklikens fan 'e feardichheden fan 'e operator te ferminderjen.
De apparatuer kin tapast wurde op Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti en oare metalen materialen, en kin wurde coated mei metalen film, dielectric laach film, IMD film, ensfh it wurdt benammen brûkt yn de semiconductor yndustry, lykas macht apparaten, semiconductor efterferpakking substraat coating, ensfh
GX600 | GX900 |
φ600*800(mm) | φ900*H1050(mm) |