HFCVD0606

De fakuüm coating keamer fan de gemyske damp deposition apparatuer oannimt in ûnôfhinklike dûbele laach wetter-cooling struktuer, dat is effisjint en unifoarm yn koeling, en hat in feilige en stabile struktuer.De apparatuer is ûntwurpen mei dûbele doarren, meardere observaasje finsters en meardere útwreiding ynterfaces, dat is handich foar eksterne ferbining fan auxiliaire perifeare apparaten lykas ynfraread temperatuer mjitting, spektrale analyze, video monitoring en thermocouple.It avansearre ûntwerpkonsept makket de deistige revyzje en ûnderhâld, konfiguraasjeferoaring en opwurdearring fan 'e apparatuer maklik en ienfâldich, en effektyf ferleget it gebrûk en upgradekosten.

Equipment funksjes:

1.De ynflaasjekomponinten fan 'e apparatuer befetsje benammen massastreammeter, solenoïdeklep en gasmixtank, dy't soargje foar de krekte kontrôle fan prosesgasstream, unifoarm mingen en feilige isolaasje fan ferskate gassen, en kinne gassysteemkomponinten selektearje foar it gebrûk fan floeibere gas boarne, fasilitearje de persoanlike seleksje fan in breed skala oan floeibere koalstof boarnen, en it feilich gebrûk fan syntetyske conductive diamant en elektrodes floeibere boron boarnen.
2.De luchtwinning-assemblage is foarsjoen fan in stille en effisjinte rotearjende vacuümpomp en in turbo-molekulêre pompsysteem dat fluch de hege fakuüm eftergrûnomjouwing foldwaan kin.De gearstalde fakuümmeter mei wjerstânsmeter en ionisaasjemeter wurdt brûkt foar fakuümmjitting, lykas it kapasityf filmmjitsysteem dat de druk fan ferskate prosesgassen yn in breed berik kin mjitte.De ôfsettingsdruk wurdt folslein automatysk regele troch proporsjonele kontrôleklep mei hege presyzje.
3.De koelwetterkomponint is foarsjoen fan multi-kanaal wetterdruk, stream, temperatuermjitting en software automatyske kontrôle.Ferskillende koelkomponinten binne ûnôfhinklik fan elkoar, wat handich is foar rappe diagnoaze fan skuld.Alle tûken hawwe ûnôfhinklike fentyl Switches, dat is feilich en effisjint.
4.De elektryske kontrôlekomponinten oannimme grutte grutte man-masine-ynterface LCD-skerm en gearwurkje mei PLC folslein automatyske kontrôle om it bewurkjen en ymportearjen fan prosesformule te fasilitearjen.De grafyske kromme toant visueel de feroarings en wearden fan ferskate parameters, en de apparatuer en proses parameters wurde automatysk opnomd en argivearre te fasilitearjen probleem tracing en gegevens statistyske analyze.
5.De workpiece rack is foarsjoen fan in servomotor om it opheffen en ferleegjen fan 'e substraattafel te kontrolearjen.De grafyt of read koper substraat tafel kin selektearre wurde.De temperatuer wurdt metten troch in thermocouple.
6.De rack-komponinten kinne as gehiel of apart ûntwurpen wurde neffens klanteasken om te foldwaan oan de spesjale ôfhanneling easken fan klanten.
7.De sealing plaat komponinten binne moai en elegant.De sealingplaten yn ferskate funksjonele modulegebieten fan 'e apparatuer kinne fluch demonteare of selsstannich iepene en sluten wurde, wat tige handich is om te brûken.

Hot filament CVD apparatuer is geskikt foar deponearje diamant materialen, ynklusyf tinne film coating, sels-stypjende dikke film, microcrystalline en nanokristallijn diamant, conductive diamant, ensfh It wurdt benammen brûkt foar wear-resistant beskermjende coating fan cemented carbid cutting ark, semiconductor materialen lykas silisium en silisiumkarbid, waarmtedissipaasjecoating fan apparaten, borium-dotearre conductive diamantelektrode, ozon-desinfeksje fan elektrolytysk wetter of rioelwettersuvering.