Plasma direkte polymerisaasjeproses
It proses fan plasma-polymerisaasje is relatyf ienfâldich foar sawol ynterne elektrode-polymerisaasje-apparatuer as eksterne elektrode-polymerisaasje-apparatuer, mar parameter seleksje is wichtiger yn plasma-polymerisaasje, om't parameters in gruttere ynfloed hawwe op 'e struktuer en prestaasjes fan polymearfilms tidens plasmapolymerisaasje.
De operaasjestappen foar direkte plasmapolymerisaasje binne as folget:
(1) Stofzuiger
De eftergrûn fakuüm fan polymerisaasje ûnder fakuümbetingsten moat wurde pompt nei 1,3 × 10-1Pa.Foar polymerisaasjereaksjes dy't spesjale easken fereaskje foar it kontrolearjen fan soerstof- of stikstofynhâld, is de eftergrûn fakuüm eask noch heger.
(2) Charge reaksje monomer of mingd gas fan drager gas en monomer
De fakuümgraad is 13-130Pa.Foar plasmapolymerisaasje dy't wurk fereasket, sil passende streamkontrôlemodus en streamsnelheid wurde selektearre, algemien 10.100mL / min.Yn plasma wurde monomere molekulen ionisearre en dissosjearre troch bombardemint fan enerzjike dieltsjes, wat resulteart yn aktive dieltsjes lykas ionen en aktive genen.De aktive dieltsjes aktivearre troch plasma kinne Plasma polymerisaasje ûndergean op it ynterface fan gas faze en fêste faze.It monomeer is de boarne fan foarrinner foar plasmapolymerisaasje, en it ynputreaksjegas en monomer moatte bepaalde suverens hawwe.
(3) Seleksje fan excitation macht oanbod
Plasma kin wurde generearre mei DC, hege frekwinsje, RF, of magnetron macht boarnen te foarsjen in plasma omjouwing foar polymerisaasje.De seleksje fan macht oanbod wurdt bepaald op basis fan de easken foar de struktuer en prestaasjes fan it polymeer.
(4) Seleksje fan discharge modus
Foar polymeereasken kin Plasmapolymerisaasje twa ûntladingsmodi kieze: trochgeande ûntlading as pulsûntlading.
(5) Seleksje fan ûntslach parameters
By it útfieren fan plasmapolymerisaasje moatte ûntladingsparameters wurde beskôge út plasmaparameters, polymeereigenskippen en struktuereasken.De grutte fan 'e tapaste krêft tidens polymerisaasje wurdt bepaald troch it folume fan' e fakuümkeamer, elektrodegrutte, monomerstreamsnelheid en struktuer, polymerisaasjerate, en polymeerstruktuer en prestaasjes.Bygelyks, as it folume fan 'e reaksjekeamer 1L is en RF-plasmapolymerisaasje wurdt oannommen, sil de ûntladingskrêft yn it berik fan 10 ~ 30W wêze.Under sokke betingsten kin it generearre plasma aggregearje om in tinne film te foarmjen op it oerflak fan it wurkstik.De groei taryf fan plasma polymerisaasje film fariearret mei macht oanbod, monomer type en flow rate, en proses betingsten.Algemien, de groei taryf is 100nm / min ~ 1um / min.
(6) Parametermjitting yn plasmapolymerisaasje
De plasmaparameters en prosesparameters dy't moatte wurde mjitten yn plasmapolymerisaasje omfetsje: ûntlaadspanning, ûntlaadstroom, ûntladingsfrekwinsje, elektrontemperatuer, tichtens, type reaksjegroep en konsintraasje, ensfh.
——Dit artikel waard frijlitten troch Guangdong Zhenhua Technology, afabrikant fan optyske coating masines.
Post tiid: maaie-05-2023