Proses fan holle kathode ion coating

It proses fan holle kathode ion coating is as folget:

1, Set Chin ingots yn 'e ynstoarting.

2, Montage fan it wurkstik.

3、 Nei it evakuearjen nei 5 × 10-3Pa, wurdt argongas ynfierd yn 'e coatingkeamer fan' e sulveren buis, en it fakuümnivo is sawat 100Pa.

4, Skeakelje de biaskrêft yn.

5, Nei it ynskeakeljen fan de bôge macht te ignite de holle kathode discharge.The glow ûntlading wurdt generearre yn de knop buis, Discharge spanning is 800 ~ 1000V, De bôge-ferheging stroom is 30 ~ 50A. discharge, Hege gloed discharge hjoeddeistige tichtheid, De hege tichtheid fan rat ioanen yn 'e sulveren buis bombardeart de muorre fan' e útsicht buis, Meitsje de buis muorre rap opwaarme oant de útstjit fan elektroanen stream, de ûntlading modus fan 'e gloed ûntlading ynienen feroaring yn arc discharge, Voltage is 40 ~ 70V, Strom is 80 ~ 300A. Silver tube temperatuer berikt boppe 2300K, Incandescent, Emits in hege tichtheid stream fan arc elektroanen út de buis, en skeat nei de anode.

6、Aanpassing fan fakuümnivo.It fakuümnivo foar gloeiûntlading fan holle kathodepistoal is sawat 100 Pa, En de fakuümgraad fan coating is 8×10-1 ~ 2Pa. gas sa gau mooglik, Pas it fakuümnivo oan op in berik dat geskikt is foar coating.

7、Titanium plated basis layer.Electron stream op de anodically ynstoarte kin metaal ingot, Konverzje fan kinetyske enerzjy nei termyske enerzjy, ferdamping fan kin metaal troch ferwaarming, Damp atomen berikke it workpiece te foarmjen in titanium film.

8、Deposition fan TiN.Nitrogen gas wurdt levere oan de coating keamer, Stikstof gas en ferdampt atomen wurde ionized yn stikstof en titanium ions.Above de kroes, Hegere kâns fan inelastic botsingen fan titanium damp atomen mei ticht streamen fan lege-energy elektroanen, De metalen dissociation rate is sa heech as 20% ~ 40%., Titanium ioanen binne mear kâns te reagearjen chemysk mei de reaksje gas stikstof, Deposition te krijen in nitride mantel film layer.The holle kathode gun is sawol in vaporization boarne, In oare boarne fan ionisaasje.Tydens coating,De stroom fan 'e elektromagnetyske spoel om' e kroes moat ek oanpast wurde, Fokus de elektroanenstraal nei it sintrum fan 'e ynstoarting, Sa wurdt de krêftdichtheid fan elektroanenstream ferhege.

9、Power Off.After de film dikte berikt de foarbepaalde film dikte, Skeakelje arc Netzteil、 Bias Netzteil en lucht oanbod.