It proses fan katodyske bôgeboarne-ioncoating is yn prinsipe itselde as oare coatingtechnologyen, en guon operaasjes lykas it ynstallearjen fan workpieces en stofzuigjen wurde net mear werhelle.
1.Bombardement skjinmeitsjen fan workpieces
Foardat coating wurdt argongas ynfierd yn de coating keamer mei in fakuüm fan 2 × 10-2Pa.
Skeakelje de puls-bias-voeding oan, mei in duty cycle fan 20% en in workpiece bias fan 800-1000V.
As de bôgekrêft wurdt ynskeakele, wurdt in kâlde fjildbôgeljochtûntlading generearre, dy't in grutte hoemannichte elektroanenstream en titaniumionstrom út 'e bôgeboarne útstjit, en foarmje in plasma mei hege tichtheid.De titanium ion versnelt syn ynjeksje yn it workpiece ûnder de negative hege bias druk tapast oan it workpiece, bombardemint en sputtering de oerbliuwende gas en pollutants adsorbed op it oerflak fan it workpiece, en skjinmeitsjen en suvering fan it oerflak fan it workpiece;Tagelyk wurdt it chloorgas yn 'e coatingkeamer ionisearre troch elektroanen, en argon-ionen fersnelle it bombardemint fan it oerflak fan it wurkstik.
Dêrom is it bombardemintreinigingseffekt goed.Allinich sawat 1 minút fan bombardemintreiniging kin it wurkstik skjinmeitsje, dat hjit "haadbôgebombardemint".Troch de hege massa fan titanium-ionen, as in lytse bôgeboarne wurdt brûkt om it wurkstik te lang te bombardearjen en skjin te meitsjen, is de temperatuer fan it wurkstik gefoelich foar oververhitting, en de arkrâne kin sêft wurde.Yn 'e algemiene produksje wurde lytse bôgeboarnen ien foar ien fan boppen nei ûnderen ynskeakele, en elke lytse bôgeboarne hat in bombardemintreinigingstiid fan sawat 1 minút.
（1）Coating titanium boaiem laach
Om de adhesion tusken de film en it substraat te ferbetterjen, wurdt in laach fan suver titaniumsubstraat meastentiids bedekt foardat it titaniumnitride coating wurdt.Pas it fakuümnivo oan op 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, oanpasse de foarspanningsspanning fan it wurkstik oan 400-500V, en oanpasse de plichtsyklus fan 'e polsbias-voeding oan 40% ~ 50%.Noch igniting lytse arc boarnen ien foar ien te generearjen kâlde fjild arcing discharge.Troch de fermindering fan 'e negative biasspanning fan it wurkstik nimt de enerzjy fan titaniumionen ôf.Nei it berikken fan it wurkstik is it sputtereffekt minder as it ôfsettingseffekt, en in titanium-oergongslaach wurdt foarme op it wurkstik om de bondingskrêft te ferbetterjen tusken de titaniumnitride hurde filmlaach en it substraat.Dit proses is ek it proses fan ferwaarming fan it wurkstik.As it suvere titaniumdoel is ûntslein, is it ljocht yn it plasma azuurblau.
1.Ammoniated bowl hurde film coating
Pas de fakuümgraad oan 3 × 10-1-5Pa, oanpasse de workpiece bias spanning oan 100-200V, en oanpasse de plicht syklus fan de pols bias Netzteil oan 70% ~ 80%.Nei't stikstof wurdt ynfierd, titanium is kombinaasje reaksje mei de bôge ûntslach plasma te deponearje titanium nitride hurde film.Op dit punt is it ljocht fan it plasma yn 'e fakuümkeamer cherry read.As C2H2, O2, ensfh wurde yntrodusearre, TiCN, TiO2, ensfh filmlagen kinne wurde krigen.
-Dit artikel waard frijlitten troch Guangdong Zhenhua, afakuüm coating masine fabrikant
Post tiid: Jun-01-2023