Ion coatingmasine ûntstie út de teory foarsteld troch DM Mattox yn de jierren 1960, en oerienkommende eksperiminten begûn op dat stuit;Oant 1971, Chambers en oaren publisearre de technology fan elektroanen beam ion plating;De technology foar reaktive ferdamping plating (ARE) waard oanwiisd yn it rapport fan Bunshah yn 1972, doe't superhurde filmtypen lykas TiC en TiN waarden produsearre;Ek yn 1972 namen Smith en Molley de holle kathodetechnology oan yn it coatingproses.Tsjin de jierren 1980, de ion plating yn Sina hie lang om let berikt it nivo fan yndustriële tapassing, en de coating prosessen lykas fakuüm multi-arc ion plating en arc-discharge ion plating hie ferskynd efterinoar.
It hiele wurkproses fan fakuüm ion plating is as folget: earst,pompde fakuüm keamer, en danwachtsjede fakuümdruk oant 4X10 ⁻ ³ Paof better, is it nedich om te ferbinen de hege spanning voeding en it bouwen fan in lege temperatuer plasma gebiet fan lege spanning discharge gas tusken it substraat en de evaporator.Ferbine de substraat elektrodes mei 5000V DC negative hege spanning te foarmjen in gloed ûntslach fan de kathode.Inerte gas-ionen wurde generearre tichtby it negative glânsgebiet.Se komme yn it katode tsjuster gebiet en wurde fersneld troch it elektryske fjild en bombardearje it oerflak fan it substraat.Dit is in skjinmeitsjen proses, en dan ynfiere de coating proses.Troch it effekt fan bombardemintferwaarming wurde guon platingsmaterialen ferdampt.It plasma gebiet komt yn 'e protoanen, botsing mei elektroanen en inerte gas ioanen, en in lyts part fan harren binne ionized, Dy ionized ioanen mei hege enerzjy sil bombardearje de film oerflak en ferbetterjen fan de film kwaliteit ta in hichte.
It prinsipe fan fakuüm ion plating is: yn 'e fakuüm keamer, mei help fan it fenomeen fan gas ûntlading of it ionisearre diel fan' e vaporized materiaal, ûnder it bombardemint fan 'e vaporized materiaal ioanen of gas-ionen, tagelyk deponearje dizze vaporized stoffen of harren reactants op it substraat om in tinne film te krijen.De ion coatingmasinekombinearret fakuüm ferdamping, plasma technology en gas gloei discharge, dy't net allinnich ferbettert de film kwaliteit, mar ek wreidet it tapassing berik fan de film.De foardielen fan dit proses binne sterke diffraksje, goede film adhesion, en ferskate coating materialen.It prinsipe fan ion plating waard earst foarsteld troch DM Mattox.D'r binne in protte soarten ionplating.De meast foarkommende type is ferdamping ferwaarming, ynklusyf ferset ferwaarming, elektroanen beam ferwaarming, plasma elektroanen beam ferwaarming, hege-frekwinsje induction ferwaarming en oare ferwaarming metoaden.
Post tiid: Febrewaris 14-2023