Dizze searje apparatuer brûkt magnetron-doelen om coatingmaterialen te konvertearjen yn dieltsjes fan nanometergrutte, dy't op it oerflak fan substraten wurde dellein om tinne films te foarmjen.De rôle film wurdt yn 'e fakuümkeamer pleatst.Troch de elektrysk oandreaune winding struktuer, ien ein ûntfangt de film en de oare set de film.It giet troch troch it doelgebiet en ûntfangt de doeldieltsjes om in dichte film te foarmjen.
Karakteristyk:
1. Lege temperatuer filmfoarming.De temperatuer hat net folle ynfloed op 'e film en sil gjin deformation produsearje.It is geskikt foar PET, PI en oare basis materiaal coil films.
2. De filmdikte kin ûntwurpen wurde.Tinne as dikke coating kinne wurde ûntwurpen en dellein troch proses oanpassing.
3. Meardere doellokaasje ûntwerp, fleksibel proses.De hiele masine kin wurde foarsjoen fan acht doelen, dy't kinne wurde brûkt as ienfâldige metalen doelen of gearstalde en okside doelen.It kin brûkt wurde foar it tarieden fan single-layer films mei ien struktuer of multi-layer films mei gearstalde struktuer.It proses is tige fleksibel.
De apparatuer kin tariede elektromagnetyske shielding film, fleksibele circuit board coating, ferskate dielectric films, multi-laach AR antireflection film, HR hege antireflection film, kleur film, ensfh de apparatuer hat in hiel breed oanbod fan tapassings, en single-laach film deposition kin foltôge wurde troch ienmalige filmdeposysje.
De apparatuer kin ienfâldige metalen doelen oannimme lykas Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, ensfh., As gearstalde doelen lykas SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, ensfh.
De apparatuer is lyts yn grutte, kompakt yn struktuerûntwerp, lyts yn fliergebiet, leech yn enerzjyferbrûk, en fleksibel yn oanpassing.It is tige geskikt foar proses ûndersyk en ûntwikkeling of lytse batch massa produksje.