Prinsipe fan fakuüm ferdamping coating
1, Equipment en fysike proses fan fakuüm ferdamping coating
De fakuüm ferdamping coating apparatuer is benammen gearstald út fakuüm keamer en evakuaasje systeem.Binnen de fakuüm keamer binne d'r evaporaasjeboarne (dus evaporaasjeheater), substraat en substraatframe, substraatheater, útlaatsysteem, ensfh.
It coating materiaal wurdt pleatst yn 'e ferdamping boarne fan' e fakuüm keamer, en ûnder hege fakuüm omstannichheden, it wurdt ferwaarme troch de ferdamping boarne te ferdampen.Wannear't it gemiddelde frije berik fan 'e dampmolekulen grutter is as de lineêre grutte fan' e fakuümkeamer, neidat de atomen en molekulen fan 'e filmdamp ûntsnapt út it oerflak fan' e ferdampingsboarne, wurde selden hindere troch de botsing fan oare molekulen of atomen, en direkt berikke it oerflak fan it substraat te coated.Troch de lege temperatuer fan it substraat kondensearje de filmdampdieltsjes derop en foarmje in film.
Om de adhesion fan evaporaasjemolekulen en substraat te ferbetterjen, kin it substraat aktivearre wurde troch goede ferwaarming of ionreiniging.Vacuum evaporation coating giet troch de folgjende fysike prosessen fan materiaal ferdamping, ferfier nei ôfsetting yn in film.
(1) Mei help fan ferskate manieren om oare foarmen fan enerzjy yn termyske enerzjy te konvertearjen, wurdt it filmmateriaal ferwaarme om te ferdampen of te sublimearjen yn gasfoarmige dieltsjes (atomen, molekulen of atoomklusters) mei in bepaalde hoemannichte enerzjy (0,1 oant 0,3 eV).
(2) Gasfoarmige dieltsjes ferlitte it oerflak fan 'e film en wurde ferfierd nei it oerflak fan it substraat mei in bepaalde snelheid fan beweging, yn essinsje sûnder botsing, yn in rjochte line.
(3) De gasfoarmige dieltsjes dy't it oerflak fan it substraat berikke, koalesearje en nukleearje, en groeie dan yn in fêste-fasefilm.
(4) Reorganisaasje of gemyske bining fan 'e atomen dy't de film foarmje.
2, Ferdamping ferwaarming
(1) Resistance ferwaarming ferdamping
Resistance ferwaarming ferdamping is de ienfâldichste en meast brûkte ferwaarming metoade, algemien fan tapassing op coating materialen mei rimpelpunt ûnder 1500 ℃, hege smeltpunt metalen yn tried of blêd foarm (W, Mo, Ti, Ta, borium nitride, ensfh) binne meastentiids makke yn in gaadlike foarm fan ferdamping boarne, laden mei ferdamping materialen, troch de Joule waarmte fan elektryske stroom te melt, evaporate of sublimate it plating materiaal, de foarm fan ferdamping boarne benammen omfiemet multi-strand spiraal, U-foarmige, sinus wave , tinne plaat, boat, kegel basket, ensfh Tagelyk, de metoade fereasket de evaporaasje boarne materiaal te hawwen hege smeltpunt, lege sêding damp druk, stabile gemyske eigenskippen, gjin gemyske reaksje mei de coating materiaal op hege temperatuer, goede waarmte ferset, lytse feroaring yn macht tichtens, ensfh It oannimt hege stroom troch de evaporaasje boarne te meitsje it waarmjen en ferdampen de film materiaal troch direkte ferwaarming, of set de film materiaal yn 'e kroes makke fan grafyt en bepaalde hege temperatuer resistant metaaloksiden (lykas A202, B0) en oare materialen foar yndirekte ferwaarming om te ferdampen.
Resistance ferwaarming evaporation coating hat beheinings: refractaire metalen hawwe lege damp druk, dat is dreech te meitsjen tinne film;guon eleminten binne maklik te foarmjen in alloy mei de ferwaarming tried;it is net maklik om in unifoarme gearstalling fan 'e alloy film te krijen.Fanwegen de ienfâldige struktuer, lege priis en maklike wurking fan fersetsferwaarming evaporaasjemetoade, is it in heul gewoane tapassing fan evaporaasjemetoade.
(2) Electron beam ferwaarming ferdamping
Elektroanenstraalferdamping is in metoade foar it ferdampen fan it coatingmateriaal troch it te bombardearjen mei in elektroanenbeam mei hege enerzjydichtheid troch it yn in wetterkuolle koperkroes te pleatsen.De evaporaasjeboarne bestiet út in elektronemisjeboarne, in elektroanenfersnellingskrêftboarne, in kroes (meastentiids in koperkroes), in magnetysk fjildspoel, en in koelwetterset, ensfh Yn dit apparaat wurdt it ferwaarme materiaal yn in wetter pleatst. -kuolle kroes, en de elektroanen beam bombardearret mar in hiel lyts part fan it materiaal, wylst it grutste part fan it oerbleaune materiaal bliuwt op in hiel lege temperatuer ûnder de koeling effekt fan 'e kroes, dat kin beskôge wurde as it bombardearre diel fan' e kroes.Sa koe de metoade fan ferwaarming fan elektroanenstraal foar ferdamping fersmoarging foarkomme tusken it coatingmateriaal en it ferdampingsboarnemateriaal.
De struktuer fan 'e evaporaasjeboarne fan' e elektroanenbeam kin wurde ferdield yn trije soarten: rjochte gewearen (boulesgewearen), ringgewearen (elektrysk ôfwiisd) en e-gewearen (magnetysk ôfwike).Ien of mear kroezen kinne wurde pleatst yn in ferdamping foarsjenning, dat kin ferdampe en deponearje in protte ferskillende stoffen tagelyk of apart.
Electron beam evaporation boarnen hawwe de folgjende foardielen.
①De hege beam tichtens fan 'e elektroanen beam bombardemint evaporaasje boarne kin krije in folle gruttere enerzjy tichtens as de ferset ferwaarming boarne, dat kin ferdampe hege rimpelpunt materialen, lykas W, Mo, Al2O3, ensfh
②De coating materiaal wurdt pleatst yn in wetterkuolle koper kroes, dat kin mije de ferdamping fan de ferdamping boarne materiaal, en de reaksje tusken harren.
③ Waarmte kin direkt oan it oerflak fan it coatingmateriaal tafoege wurde, wat de termyske effisjinsje heech makket en it ferlies fan waarmtegelieding en waarmtestrieling leech.
It neidiel fan de elektroanen beam ferwaarming evaporation metoade is dat de primêre elektroanen út de elektroanen gun en de sekundêre elektroanen út it oerflak fan de coating materiaal sil ionize de evaporating atomen en oerbleaune gas molekulen, dat sil beynfloedzje de kwaliteit fan de film soms.
(3) Hege frekwinsje induksje ferwaarming ferdamping
Hege frekwinsje induksje ferwaarming ferdamping is it pleatsen fan de kroes mei coating materiaal yn it sintrum fan 'e hege-frekwinsje spiraal coil, sadat it coating materiaal generearret sterke wervelstrom en hysteresis effekt ûnder de ynduksje fan hege-frekwinsje elektromagnetysk fjild, dat feroarsaket de filmlaach om te ferwaarmjen oant it ferdampt en ferdampt.De ferdampingsboarne bestiet oer it generaal út in wetterkuolle heechfrekwinsje-spul en in grafyt- of keramyk (magnesiumoksyd, aluminiumoksyd, boronoxide, ensfh.) Kroes.De hege frekwinsje voeding brûkt in frekwinsje fan tsien tûzen oant inkele hûndert tûzen Hz, de ynfier macht is ferskate oant inkele hûnderten kilowatts, hoe lytser it folume fan it membraan materiaal, hoe heger de ynduksje frekwinsje.Induction coil frekwinsje wurdt meastal makke fan wetterkuolle koperen buis.
It neidiel fan hege frekwinsje ynduksje ferwaarming ferdamping metoade is dat it net maklik is om de ynfierkrêft goed oan te passen, it hat de folgjende foardielen.
① Hege ferdampingsrate
②De temperatuer fan 'e evaporaasjeboarne is unifoarm en stabyl, dus it is net maklik om it ferskynsel fan splash fan coatingdruppels te produsearjen, en it kin ek it ferskynsel fan pinholes op' e deponearre film foarkomme.
③De evaporaasjeboarne wurdt ien kear laden, en de temperatuer is relatyf maklik en ienfâldich te kontrolearjen.
Post tiid: Okt-28-2022