Composite coating apparatuer fan magnetron sputtering en cathodic multi-arc ion coating kin wurkje apart en tagelyk;kin wurde dellein en taret suvere metalen film, metalen gearstalde film of gearstalde film;kin in inkele laach fan film en in multi-laach gearstalde film.
Har foardielen as folgjend:
It kombinearret net allinich de foardielen fan ferskate ioncoatings en hâldt rekken mei de tarieding en ôfsetting fan tinne film foar ferskate tapassingsfjilden, mar makket ek de ôfsetting en tarieding fan multi-layer monolithic films of multi-layer gearstalde films yn itselde fakuüm mooglik. coating keamer yn ien kear.
De tapassingen fan deponearre filmlagen wurde breed brûkt, har technologyen binne yn in ferskaat oan foarmen, de typyske as folgjend:
(1) De gearstalling fan net-lykwicht magnetron sputtering en katodyske ion plating technology.
Syn apparaat wurdt werjûn as folget.It is in gearstalde coating apparatuer fan kolom magnetron doel en planar cathodic arc ion coating, dat is geskikt foar sawol ark coating gearstalde film en dekorative film coating.Foar arkcoating wurdt de katodyske bôge-ioncoating earst brûkt foar de basislaachcoating, en dan wurdt it kolommagnetron-doel brûkt foar de ôfsetting fan nitride en oare filmlagen om in oerflakfilm mei hege presyzje te ferwurkjen ark.
Foar dekorative coating, TiN en ZrN dekorative films kinne wurde dellein troch cathodic arc coating earst, en dan doped mei metaal mei help fan magnetron doelen, en de doping effekt is hiel goed.
(2) De gearstalling fan twin plane magnetron en kolom kathode arc ion coating techniken.It apparaat wurdt werjûn as folget.It wurdt brûkt de avansearre twilling doel technology, doe't twa side-by-side twilling doelen keppele oan de medium frekwinsje macht oanbod, it net allinnich oerwint it doel fergiftiging fan DC sputtering, fjoer en oare neidielen;en kin deponearje Al203, SiO2 okside kwaliteit film, sadat de oksidaasjegebrûk ferset fan de coated dielen hawwe ferhege en ferbettere.Columnar multi-arc doel ynstallearre yn it sintrum fan 'e fakuüm keamer, it doel materiaal kin brûkt wurde Ti en Zr, net allinnich te behâlden de foardielen fan hege multi-arc dissociation rate, deposition rate, mar ek kin effektyf ferminderjen "druppels" yn it proses fan lytse fleanmasine multi-arc doelôfsetting, kin deponearje en tariede in lege porosity fan metalen films, gearstalde films.As Al en Si wurde brûkt as de doelmaterialen foar de twin planar magnetron doelen ynstallearre oan de perifery, Al203 of Si0 metaal-keramyske films kinne wurde dellein en taret.Dêrneist kinne meardere lytse fleantugen fan multi-arc evaporation boarne wurde ynstallearre by de perifery, en syn doel materiaal kin wêze Cr of Ni, en metalen films en multilayer gearstalde films kinne wurde dellein en taret.Dêrom is dizze gearstalde coatingtechnology in gearstalde coatingtechnology mei meardere tapassingen.
Post tiid: Nov-08-2022