1) Tá ráta úsáide níos airde ag spriocanna sorcóireacha ná mar a bhíonn spriocanna plánacha.Sa phróiseas sciath, cibé acu is cineál maighnéadach rothlach é nó sprioc sputtering sorcóireach cineál feadán rothlach, téann gach cuid de dhromchla an fheadáin sprice go leanúnach tríd an limistéar sputtering a ghintear os comhair an maighnéad buan chun sputtering catóide a fháil, agus an is féidir an sprioc a sputtered go haonfhoirmeach eitseáilte, agus tá an ráta úsáide sprice ard.Tá ráta úsáide na n-ábhar sprice thart ar 80% ~ 90%.
2) Ní bheidh sé éasca “sprioc-nimhiú” a tháirgeadh le spriocanna sorcóireacha.Le linn an phróisis brataithe, déantar dromchla an fheadáin sprice a sputtered agus eitseáilte ag iain i gcónaí, agus níl sé éasca ocsaídí tiubh agus scannáin inslithe eile a charnadh ar an dromchla, agus níl sé éasca "sprioc-nimhiú" a tháirgeadh.
3) Tá struchtúr an fheadáin sprioc rothlach cineál sputtering sorcóireach simplí agus éasca a shuiteáil.
4) Tá cineálacha éagsúla ag an ábhar feadán sprioc sorcóireach.sprioc comhphlánacha le sprioc miotail fuaraithe uisce díreach, agus ní féidir cuid acu a phróiseáil agus a fhoirmiú spriocanna sorcóireacha, mar shampla sprioc In2-SnO2, etc. le hábhar púdar le haghaidh brú isostatach te chun spriocanna pláta-mhaith a fháil, toisc nach féidir an méid a dhéanamh mór, agus brittle, mar sin tá sé riachtanach modh prásála agus backplate copair a úsáid chun comhtháthú agus ansin a shuiteáil ar an mbonn sprice.Chomh maith le píopaí miotail, is féidir spriocanna columnar a spraeáil freisin ar dhromchla píopaí cruach dhosmálta le hábhair éagsúla a gcaithfear a bheith brataithe, mar shampla Si, Cr, etc.
Faoi láthair, tá méadú ag teacht ar chomhréir na spriocanna sorcóireacha le haghaidh sciath i dtáirgeadh tionsclaíoch.Ní hamháin go n-úsáideann spriocanna sorcóireacha don mheaisín sciath ingearach ach freisin úsáidtear iad sa mheaisín sciath rolla a rolladh.Le blianta beaga anuas, de réir a chéile, cuirtear na spriocanna cúpla Sorcóireacha in ionad na spriocanna déchúplaí.
——D'eisigh Guangdong Zhenhua Technology an t-alt seo, amonaróir meaisíní brataithe optúla.
Am postála: Bealtaine-11-2023