Tá na tréithe seo a leanas ag teicneolaíocht sciath CVD:
1. Tá oibriú próiseas trealaimh CVD sách simplí agus solúbtha, agus féadann sé scannáin aonair nó ilchodach agus scannáin chóimhiotail a ullmhú le comhréireanna éagsúla;
2. Tá raon leathan iarratas ag sciath CVD, agus is féidir é a úsáid chun cótaí éagsúla miotail nó scannáin miotail a ullmhú;
3. Éifeachtúlacht táirgthe ard mar gheall ar rátaí taisce ó chúpla miocrón go dtí na céadta miocrón in aghaidh an nóiméid;
4. I gcomparáid le modh PVD, tá feidhmíocht díraonta níos fearr ag CVD agus tá sé an-oiriúnach le haghaidh foshraitheanna sciath le cruthanna casta, mar shampla grooves, poill brataithe, agus fiú struchtúir poll dall.Is féidir an sciath a phlátáil i scannán le dea-dhlúthacht.Mar gheall ar an teocht ard le linn an phróisis foirmithe scannáin, agus an greamaitheacht láidir ar chomhéadan an tsubstráit scannáin, tá an ciseal scannáin an-daingean
5. Tá an damáiste de bharr radaíochta sách íseal agus is féidir é a chomhtháthú le próisis ciorcaid chomhtháite MOS.
——Tá an t-alt seo foilsithe ag Guangdong Zhenhua, amonaróir meaisín sciath bhfolús
Am postála: Mar-29-2023