1. Tá an claonadh workpiece íseal
Mar gheall ar fheiste a chur leis chun an ráta ianaithe a mhéadú, méadaítear an dlús reatha urscaoilte, agus laghdaítear an voltas claonta go 0.5 ~ 1kV.
Laghdaítear an backsputtering de bharr bombardú iomarcach na n-ian ardfhuinnimh agus an éifeacht damáiste ar dhromchla an phíosa oibre.
2. Dlús plasma méadaithe
Cuireadh bearta éagsúla chun ianú imbhuailte a chur chun cinn, agus tá an ráta ianaithe miotail méadaithe ó 3% go dtí níos mó ná 15%.Méadaítear dlús na n-ian smig agus na n-adamh neodrach ardfhuinnimh, na hiain nítrigine, na n-adamh gníomhach ardfhuinnimh agus na ngrúpaí gníomhacha sa seomra sciath, rud a chabhródh leis an imoibriú chun comhdhúile a fhoirmiú.D'éirigh leis na teicneolaíochtaí feabhsaithe sciath ian urscaoilte glow éagsúla thuas sraitheanna scannáin chrua TN a fháil trí thaisceadh imoibrithe ag dlúis plasma níos airde, ach toisc go mbaineann siad leis an gcineál urscaoilte glow, níl an dlús reatha urscaoilte ard go leor (leibhéal mA/cm2 fós ), agus nach bhfuil an dlús plasma iomlán ard go leor, agus tá an próiseas imoibrithe sciath cumaisc taiscí deacair.
3. Tá raon sciath na foinse galú pointe beag
Úsáideann teicneolaíochtaí feabhsaithe sciath ian éagsúla foinsí galú bhíoma leictreon, agus gantu mar fhoinse galú pointe, atá teoranta ag eatramh áirithe os cionn gantu le haghaidh taisceadh imoibrithe, agus mar sin tá an táirgiúlacht íseal, tá an próiseas deacair, agus tá sé deacair a thionsclaíocht.
4. Oibriú ardbhrú gunna leictreonach
Is é an voltas gunna leictreon ná 6 ~ 30kV, agus is é 0.5 ~ 3kV voltas claonta an phíosa oibre, a bhaineann le hoibriú ardvoltais agus tá guaiseacha sábháilteachta áirithe aige.
——D'eisigh Guangdong Zhenhua Technology an t-alt seo, amonaróir meaisíní brataithe optúla.
Am postála: Bealtaine-12-2023