Mar is eol dúinn go léir, is é an sainmhíniú ar leathsheoltóir ná go bhfuil seoltacht aige idir seoltóirí tirim agus inslitheoirí, tá friotachas idir miotail agus inslitheoir, atá de ghnáth ag teocht an tseomra laistigh den raon 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm.Le blianta beaga anuas, sciath leathsheoltóra i bhfolús sna cuideachtaí leathsheoltóra móra, is léir go bhfuil a stádas ag éirí níos ard, go háirithe i roinnt modhanna taighde teicneolaíochta forbartha ciorcaid chomhtháite ar scála mór chun feistí comhshó magnetoelectric, feistí astaithe solais agus obair forbartha eile.Tá ról tábhachtach ag sciath leathsheoltóra folúis.
Is sainairíonna iad leathsheoltóirí a dtréithe intreacha, a dteocht agus a dtiúchan eisíontais.Déantar idirdhealú a dhéanamh ar ábhair bhrataithe leathsheoltóra folúis óna chéile go príomha ag a chomhdhúile comhpháirte.Tá beagnach gach ceann acu bunaithe ar bhórón, carbóin, sileacain, gearmáiniam, arsanaic, antamón, teiliúiriam, iaidín, etc., agus roinnt réasúnta beag GaP, GaAs, lnSb, etc. Tá roinnt leathsheoltóirí ocsaíd ann freisin, mar shampla FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O, etc.
Is féidir le galú bhfolús, sciath sputtering, sciath ian agus trealamh eile sciath leathsheoltóra bhfolús a dhéanamh.Tá na trealamh sciath seo go léir difriúil ina bprionsabal oibre, ach déanann siad go léir an t-ábhar sciath ábhar leathsheoltóra a thaisceadh ar an tsubstráit, agus mar ábhar an tsubstráit, níl aon cheanglas ann, is féidir é a bheith ina leathsheoltóir nó nach ea.Ina theannta sin, is féidir bratuithe le hairíonna leictreacha agus optúla éagsúla a ullmhú trí idirleathadh eisíontais agus ionchlannú ian ar dhromchla an tsubstráit leathsheoltóra i raon.Is féidir an ciseal tanaí mar thoradh air a phróiseáil freisin mar sciath leathsheoltóra i gcoitinne.
Is láithreacht fíor-riachtanach sa leictreonaic é sciath leathsheoltóra folúis cibé acu le haghaidh feistí gníomhacha nó éighníomhacha.Le dul chun cinn leanúnach na teicneolaíochta sciath leathsheoltóra bhfolús, tá rialú beacht ar fheidhmíocht scannáin indéanta.
Le blianta beaga anuas, tá dul chun cinn tapa déanta ag sciath éagruthach agus sciath polycrystalline maidir le déantúsaíocht feistí fóta-sheoltacha, feadáin atá brataithe le héifeacht réimse, agus cealla gréine ard-éifeachtúlachta.Ina theannta sin, mar gheall ar fhorbairt sciath leathsheoltóra i bhfolús agus scannán tanaí braiteoirí, rud a laghdaíonn go mór an deacracht a bhaineann le roghnú ábhar agus go ndéantar an próiseas déantúsaíochta a shimpliú de réir a chéile.Tá trealamh sciath leathsheoltóra folúis tar éis éirí mar láithreacht riachtanach d'iarratais leathsheoltóra.Úsáidtear an trealamh go forleathan le haghaidh sciath leathsheoltóra feistí ceamara, cealla gréine, trasraitheoirí brataithe, astú réimse, solas catóide, astú leictreoin, eilimintí braite scannáin tanaí, etc.
Tá an líne sciath sputtering magnetron deartha le córas rialaithe go hiomlán uathoibríoch, comhéadan daonna-inneall scáileán tadhaill áisiúil agus iomasach.Tá an líne deartha le roghchlár feidhm iomlán chun monatóireacht iomlán a dhéanamh ar stádas oibríochta na gcomhpháirteanna iomlána líne táirgeachta, socrú paraiméadar próisis, cosaint oibríochta agus feidhmeanna aláraim.Tá an córas rialaithe leictreachais iomlán sábháilte, iontaofa agus cobhsaí.Feistithe le sprioc sputtering maighnéadrón dhá thaobh uachtarach agus íochtair nó córas brataithe aon-thaobh.
Cuirtear an trealamh i bhfeidhm go príomha ar bhoird chiorcaid ceirmeacha, toilleoirí ardvoltais sliseanna agus sciath tsubstráit eile, is iad na príomhréimsí iarratais ná cláir chiorcaid leictreonacha.
Am postála: Nov-07-2022