Úsáideann an teicneolaíocht taiscthe gaile ceimiceach plasma feabhsaithe stua sreinge te an gunna stua sreinge te chun plasma stua a astú, arna ghiorrú mar theicneolaíocht stua sreang te PECVD.Tá an teicneolaíocht seo cosúil leis an teicneolaíocht sciath ian gunna stua sreinge te, ach is é an difríocht ná go n-úsáideann an scannán soladach a fhaightear trí sciath ian gunna stua sreinge te an sreabhadh leictreon solais stua a astaítear ag an gunna stua sreang te chun an miotail a théamh agus a ghalú i. an breogán, agus cothaítear an stua sreang te PECVD le gáis imoibrithe, mar shampla CH4 agus H2, a úsáidtear chun scannáin diamanta a thaisceadh.Trí bheith ag brath ar an sruth urscaoilte stua ard-dlúis a astaíonn an gunna stua sreinge te, tá na hiain gháis imoibríocha ar bís chun cáithníní gníomhacha éagsúla a fháil, lena n-áirítear iain gháis, iain adamhacha, grúpaí gníomhacha, agus mar sin de.
Sa gléas PECVD stua sreinge te, tá dhá chorna leictreamaighnéadacha fós suiteáilte lasmuigh den seomra sciath, rud a fhágann go rothlaíonn an sreabhadh leictreon ard-dlúis le linn na gluaiseachta i dtreo an anóid, ag méadú an dóchúlacht imbhuailte agus ianaithe idir an sreabhadh leictreon agus an gás imoibrithe. .Is féidir leis an gcorna leictreamaighnéadach teacht le chéile freisin i gcolún stua chun dlús plasma an tseomra taisce ar fad a mhéadú.I stua plasma, tá dlús na gcáithníní gníomhacha seo ard, rud a fhágann go bhfuil sé níos éasca scannáin Diamond agus sraitheanna scannáin eile a thaisceadh ar an bpíosa oibre.
——D'eisigh Guangdong Zhenhua Technology an t-alt seo, amonaróir meaisíní brataithe optúla.
Am postála: Bealtaine-05-2023