Áirítear go príomha le sciath folúis taisceadh gaile bhfolús, sciath sputtering agus sciath ian, a úsáidtear go léir chun scannáin mhiotail agus neamh-mhiotail éagsúla a thaisceadh ar dhromchla páirteanna plaisteacha trí dhriogadh nó sputtering faoi choinníollacha folúis, ar féidir leo sciath dromchla an-tanaí a fháil. leis an buntáiste gan íoc a bhaineann le greamaitheacht tapa, ach tá an praghas níos airde freisin, agus tá na cineálacha miotail is féidir a oibriú níos lú, agus úsáidtear iad go ginearálta le haghaidh sciath feidhmiúil táirgí de ghrád níos airde.
Is modh é taisceadh gaile folúis chun an miotail a théamh faoi fholús ard, rud a fhágann go bhfuil sé leá, galú, agus foirmiú scannán miotail tanaí ar dhromchla an tsampla tar éis fuaraithe, le tiús 0.8-1.2 um.Líonann sé na codanna beaga cuasach agus dronnach ar dhromchla an táirge déanta chun dromchla cosúil le scáthán a fháil.Nuair a dhéantar sil-leagan gaile bhfolús chun éifeacht scáthán frithchaiteach a fháil nó chun cruach le greamaitheacht íseal a fholmhú, an dromchla bun. ní mór a bheith brataithe.
De ghnáth tagraíonn sputtering do sputtering magnetron, arb é modh sputtering íseal-teocht ardluais é.Éilíonn an próiseas bhfolús de thart ar 1 × 10-3Torr, is é sin stát folúis 1.3 × 10-3Pa líonadh le argón gáis táimhe (Ar), agus idir an tsubstráit plaisteach (anóid) agus an sprioc miotail (catóide) móide ardvoltais. sruth díreach, mar gheall ar excitation leictreon gás támh a ghintear trí scaoileadh glow, plasma a tháirgeadh, pléascfaidh an plasma adaimh an sprioc miotail agus iad a thaisceadh ar an tsubstráit plaisteach.Úsáideann an chuid is mó de na bratuithe miotail ghinearálta sputtering DC, agus úsáideann na hábhair ceirmeacha neamhsheoltach sputtering RF AC.
Is modh é sciath ian ina n-úsáidtear sceitheadh gáis chun an gás nó an tsubstaint ghalaithe a ianú go páirteach faoi choinníollacha folúis, agus déantar an tsubstaint ghalaithe nó a himoibreoirí a thaisceadh ar an tsubstráit trí iain gháis nó iain den tsubstaint ghalaithe a thuar.Ina measc seo tá sciath ian sputtering magnetron, sciath ian imoibríoch, sciath ian urscaoilte catóide log (modh sil-leagan gaile catóide log), agus sciath ian il-stua (sciath ian stua catóide).
Maighnéadrón ingearach dhá thaobh ag sputtering sciath leanúnach i líne
Infheidhmeacht leathan, is féidir é a úsáid le haghaidh táirgí leictreonacha cosúil le ciseal sciath EMI bhlaosc leabhar nótaí, táirgí árasán, agus is féidir fiú gach táirge cupán lampa laistigh de shonraíocht airde áirithe a tháirgeadh.Cumas luchtaithe mór, clampáil dhlúth agus clampáil tuislithe de chupáin solais cónúla le haghaidh sciath dhá thaobh, a fhéadfaidh cumas luchtaithe níos mó a bheith acu.Caighdeán cobhsaí, comhsheasmhacht maith ciseal scannáin ó bhaisc go bhaisc.Ardleibhéal uathoibrithe agus costas saothair reatha íseal.
Am postála: Nov-07-2022