Próiseas polymerization díreach plasma

Próiseas polymerization díreach plasma

Tá próiseas Polymerization Plasma sách simplí do threalamh polymerization leictreoid inmheánach agus trealamh polaiméirithe leictreoid seachtrach, ach tá roghnú paraiméadar níos tábhachtaí i Polymerization Plasma, toisc go bhfuil tionchar níos mó ag paraiméadair ar struchtúr agus ar fheidhmíocht scannán polaiméire le linn polaiméiriú Plasma.

Is iad seo a leanas na céimeanna oibríochta le haghaidh polaiméiriú plasma díreach:

(1) Fholúis

Ba cheart an fholús cúlra de pholaiméiriú faoi choinníollacha folúis a phumpáil go 1.3 × 10-1Pa.Le haghaidh imoibrithe polaiméirithe a éilíonn ceanglais speisialta maidir le hábhar ocsaigine nó nítrigine a rialú, tá an riachtanas folús cúlra níos airde fós.

(2) Monaiméir imoibrithe luchta nó gás measctha de ghás iompróra agus monaiméir

Is é an chéim bhfolús 13-130Pa.Maidir le polaiméiriú Plasma óna dteastaíonn obair, roghnófar an modh rialaithe sreafa cuí agus an ráta sreafa, go ginearálta 10.100mL/nóim.I plasma, déantar móilíní monaiméirí a ianú agus a dhícheangal trí thuamáil cáithníní fuinniúla, rud a fhágann go mbíonn cáithníní gníomhacha ar nós iain agus géinte gníomhacha ann.Is féidir leis na cáithníní gníomhacha atá i ngníomh ag plasma polaiméiriú Plasma a dhéanamh ag comhéadan céim gáis agus céim soladach.Is é an monaiméir an fhoinse réamhtheachtaithe do pholaiméiriú Plasma, agus beidh íonacht áirithe ag an ngás imoibrithe ionchuir agus ag an monaiméir.

(3) Roghnú soláthar cumhachta excitation

Is féidir plasma a ghiniúint ag baint úsáide as foinsí cumhachta DC, ard-minicíochta, RF, nó micreathonn chun timpeallacht plasma a sholáthar le haghaidh polaiméiriú.Cinntear roghnú an tsoláthair chumhachta bunaithe ar na ceanglais maidir le struchtúr agus feidhmíocht an pholaiméir.

(4) Roghnú modh urscaoilte

Maidir le riachtanais polaiméire, is féidir le polaiméiriú Plasma dhá mhodh urscaoilte a roghnú: urscaoileadh leanúnach nó urscaoileadh cuisle.

(5) Roghnú paraiméadair urscaoilte

Agus polaiméiriú Plasma á dhéanamh, ní mór paraiméadair urscaoilte a mheas ó pharaiméadair plasma, airíonna polaiméire agus riachtanais struchtúir.Cinntear méid na cumhachta a chuirtear i bhfeidhm le linn polaiméirithe de réir toirte an tseomra folúis, méid leictreoid, ráta sreafa monaiméir agus struchtúr, ráta polaiméirithe, agus struchtúr agus feidhmíocht polaiméire.Mar shampla, má tá toirt an tseomra imoibrithe 1L agus má ghlactar le polaiméiriú Plasma RF, beidh an chumhacht urscaoilte sa raon 10 ~ 30W.Faoi choinníollacha den sórt sin, is féidir an plasma a ghintear a chomhiomlánú chun scannán tanaí a dhéanamh ar dhromchla an phíosa oibre.Athraíonn ráta fáis scannán polymerization Plasma le soláthar cumhachta, cineál monaiméir agus ráta sreafa, agus coinníollacha próisis.Go ginearálta, is é an ráta fáis 100nm/min~1um/min.

(6) Tomhas paraiméadar i Polymerization Plasma

Áirítear ar na paraiméadair plasma agus na paraiméadair phróisis atá le tomhas i Polymerization Plasma: voltas urscaoilte, sruth urscaoilte, minicíocht urscaoilte, Teocht leictreon, dlús, cineál grúpa imoibrithe agus tiúchan, etc.

——D'eisigh Guangdong Zhenhua Technology an t-alt seo, amonaróir meaisíní brataithe optúla.