Sreabhadh Próiseas Meaisín Cumhdach Sputtering

1. Foshraith glanadh buamála

1.1) Úsáideann meaisín sciath sputtering urscaoileadh glow chun an tsubstráit a ghlanadh.Is é sin le rá, an gás argón a mhuirearú isteach sa seomra, tá an voltas urscaoilte thart ar 1000V, Tar éis an soláthar cumhachta a chasadh air, gintear urscaoileadh glow, agus déantar an tsubstráit a ghlanadh le bombardú ian argóin.

1.2) I meaisíní sciath sputtering a tháirgeann ornáidí ard-deireadh go tionsclaíoch, úsáidtear hiain tíotáiniam a astaítear ó fhoinsí beaga stua le haghaidh glantacháin den chuid is mó.Tá an meaisín sciath sputtering feistithe le foinse stua beag, agus úsáidtear an sruth ian tíotáiniam sa plasma stua a ghineann an t-urscaoileadh foinse stua beag chun an tsubstráit a bombardú agus a ghlanadh.

2. Sciath nítríde tíotáiniam

Agus scannáin tanaí nítríde tíotáiniam á dtaisceadh, is é sprioc tíotáiniam an sprioc-ábhar le haghaidh sputtering.Tá an t-ábhar sprioc ceangailte le leictreoid dhiúltach an tsoláthair chumhachta sputtering, agus is é 400 ~ 500V an spriocvoltais;Tá an flosc argón seasta, agus is é an bhfolús rialaithe (3 ~ 8) x10^-1PA.Tá an tsubstráit ceangailte le leictreoid dhiúltach an tsoláthair chumhachta claonta, le voltas 100 ~ 200V.

Tar éis soláthar cumhachta an sputtering tíotáiniam a chur ar aghaidh, gintear urscaoileadh glow, agus déanann iain argóin ardfhuinnimh an sprioc sputtering a thumadh, ag sputtering adaimh tíotáiniam ón sprioc.

Tugtar isteach an nítrigin gáis imoibrithe, agus déantar na hadaimh tíotáiniam agus nítrigine a ianú i hiain tíotáiniam agus iain nítrigine sa seomra sciath.Faoi mhealladh an réimse leictreach claonta diúltach a chuirtear i bhfeidhm ar an tsubstráit, luasghéaraíonn iain tíotáiniam agus iain nítrigine go dromchla an tsubstráit le haghaidh imoibriú ceimiceach agus sil-leagan chun ciseal scannáin nítríde tíotáiniam a fhoirmiú.

3. Tóg amach an tsubstráit

Tar éis an tiús scannáin réamhshocraithe a bhaint amach, an soláthar cumhachta sputtering, an soláthar cumhachta claonta tsubstráit, agus an fhoinse aeir a mhúchadh.Tar éis teocht an tsubstráit a bheith níos ísle ná 120 ℃, líon isteach an seomra sciath le haer agus tóg amach an tsubstráit.

Tá an t-alt seo foilsithe agmonaróir meaisín sciath sputtering magnetron- Guangdong Zhenhua.