Tá próiseas sciath ian foinse stua cathodach go bunúsach mar an gcéanna le teicneolaíochtaí brataithe eile, agus ní dhéantar roinnt oibríochtaí cosúil le suiteáil píosaí oibre agus folúsú arís agus arís eile.
glanadh 1.Bombardment na workpieces
Sula ndéantar an sciath, tugtar gás argón isteach sa seomra brataithe le bhfolús 2 × 10-2Pa.
Cuir an soláthar cumhachta claonta bíge ar siúl, le timthriall dleachta 20% agus claonadh workpiece de 800-1000V.
Nuair a chuirtear an chumhacht stua ar siúl, gintear urscaoileadh solais stua fuar-réimse, a astaíonn cuid mhór de shruth leictreon agus sruth ian tíotáiniam ón bhfoinse stua, rud a chruthaíonn plasma ard-dlúis.Luathaíonn an t-ian tíotáiniam a instealladh isteach sa phíosa oibre faoin mbrú diúltach ard-chlaonadh a chuirtear i bhfeidhm ar an bpíosa oibre, ag buamáil agus ag sputtering an gháis iarmharaigh agus na truailleáin atá asaithe ar dhromchla an phíosa oibre, agus ag glanadh agus ag íonú dromchla an phíosa oibre;Ag an am céanna, tá an gás clóirín sa seomra sciath ianaithe ag leictreoin, agus iain argóin dlús a chur le bombardú an dromchla workpiece.
Dá bhrí sin, tá an éifeacht glanadh bombardú maith.Ní féidir ach thart ar 1 nóiméad de ghlanadh tuairteála an saotharphíosa a ghlanadh, ar a dtugtar “príomhbhuamáil stua”.Mar gheall ar mhais ard na n-ian tíotáiniam, má úsáidtear foinse stua beag chun an saotharphíosa a thumadh agus a ghlanadh ar feadh ró-fhada, tá teocht an phíosa oibre seans maith go róthéamh, agus féadfaidh imeall an uirlis éirí bog.I dtáirgeadh ginearálta, déantar foinsí stua beag a iompú ar cheann ar cheann ó bhun go barr, agus tá am glantacháin bombardú de thart ar 1 nóiméad ag gach foinse stua beag.
（1） Ciseal bun tíotáiniam a chumhdach
D'fhonn an greamaitheacht idir an scannán agus an tsubstráit a fheabhsú, is gnách go bhfuil sraith de shubstráit tíotáiniam íon brataithe sula sciath nítríde tíotáiniam.Coigeartaigh an leibhéal folúis go 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, coigeartaigh voltas claonta an phíosa oibre go 400-500V, agus coigeartaigh timthriall dualgas an tsoláthair chumhachta claonta bíge go 40% ~ 50%.Fós ag adhaint foinsí beaga stua ceann ar cheann chun urscaoileadh stua fuar-réimse a ghiniúint.Mar gheall ar an laghdú ar an voltas claonta diúltach den workpiece, laghdaítear fuinneamh na n-ian tíotáiniam.Tar éis an workpiece a bhaint amach, tá an éifeacht sputtering níos lú ná an éifeacht taisce, agus cruthaítear ciseal trasdula tíotáiniam ar an bpíosa oibre chun an fórsa nasctha idir an ciseal scannán crua nítríde tíotáiniam agus an tsubstráit a fheabhsú.Is é an próiseas seo freisin an próiseas téamh an workpiece.Nuair a dhéantar an sprioc tíotáiniam íon a urscaoileadh, tá an solas sa phlasma gorm azure.
Sciath scannán crua babhla 1.Ammoniated
Coigeartaigh an chéim fholús go 3×10-1-5Pa, coigeartaigh voltas claonta an phíosa oibre go 100-200V, agus coigeartaigh timthriall dualgas an tsoláthair chumhachta claonta bíge go 70% ~ 80%.Tar éis nítrigin a thabhairt isteach, is imoibriú teaglaim é tíotáiniam leis an plasma urscaoilte stua chun scannán crua nítríde tíotáiniam a thaisceadh.Ag an bpointe seo, tá solas an plasma sa seomra folúis dearg silíní.Má tá C2H2, O2, etc. a thabhairt isteach, TiCN, TiO2, etc. is féidir sraitheanna scannáin a fháil.
–D'eisigh Guangdong Zhenhua an t-alt seo, amonaróir meaisín sciath bhfolús
Am postála: Jun-01-2023