1, Comhdhúile miotail a fhoirmiú ar an spriocdhromchla
Cá bhfuil an comhdhúil a fhoirmítear sa phróiseas chun comhdhúil a fhoirmiú ó spriocdhromchla miotail trí phróiseas sputtering imoibríoch?Ós rud é go dtáirgeann an imoibriú ceimiceach idir na cáithníní gáis imoibríocha agus na hadaimh spriocdhromchla adaimh chumaisc, a bhíonn eisiteirmeach de ghnáth, ní mór go mbeadh bealach ag an teas imoibriúcháin a sheoladh amach, nó ní féidir leis an imoibriú ceimiceach leanúint ar aghaidh.Faoi choinníollacha folúis, ní féidir aistriú teasa idir gáis, mar sin ní mór imoibriú ceimiceach a dhéanamh ar dhromchla soladach.Gineann sputtering imoibrithe comhdhúile ar spriocdhromchlaí, dromchlaí foshraitheanna, agus dromchlaí struchtúracha eile.Is é an sprioc a bhaineann le comhdhúile a ghiniúint ar dhromchla an tsubstráit, is dramhaíl acmhainní é comhdhúile a ghiniúint ar dhromchlaí struchtúracha eile, agus tosaíonn comhdhúile a ghiniúint ar an spriocdhromchla mar fhoinse adamh cumaisc agus bíonn sé ina bhac ar níos mó adamh cumaisc a sholáthar go leanúnach.
2, na fachtóirí tionchar na nimhiú sprioc
Is é an príomhfhachtóir a dhéanann difear don sprioc-nimhiú ná an cóimheas idir gás imoibrithe agus gáis sputtering, beidh an iomarca gás imoibrithe mar thoradh ar nimhiú sprioc.Déantar próiseas sputtering imoibríoch i limistéar an chainéil sputtering spriocdhromchla is cosúil go bhfuil sé clúdaithe ag an gcomhdhúil imoibrithe nó go bhfuil an cumaisc imoibriúcháin stripped agus ath-nochta dromchla miotail.Má tá an ráta giniúna cumaisc níos mó ná an ráta stripping cumaisc, méadóidh an limistéar clúdaigh cumaisc.Ag cumhacht áirithe, méadaíonn méid an gháis imoibrithe a bhaineann le giniúint cumaisc agus méaduithe ar ráta giniúna cumaisc.Má mhéadaíonn méid an gháis imoibrithe ró-ard, méadóidh an limistéar cumhdaigh cumaisc.Agus más rud é nach féidir an ráta sreafa gáis imoibrithe a choigeartú in am, níl an ráta méadaithe limistéar clúdaigh cumaisc faoi chois, agus beidh an cainéal sputtering clúdaithe tuilleadh ag an cumaisc, nuair a bhíonn an sprioc sputtering clúdaithe go hiomlán ag an cumaisc, is é an sprioc nimh go hiomlán.
3, feiniméan nimhiú Sprioc
(1) carnadh ian dearfach: nuair a bheidh an nimhiú sprioc, déanfar sraith de scannán inslithe a fhoirmiú ar an spriocdhromchla, sroicheann iain dearfacha an spriocdhromchla catóide mar gheall ar bhac na ciseal inslithe.Gan dul isteach go díreach ar an spriocdhromchla catóide, ach charnadh ar an spriocdhromchla, éasca le réimse fuar a tháirgeadh a urscaoileadh stua - arcing, ionas nach féidir leis an sputtering catóide dul ar aghaidh.
(2) cealú anóid: nuair a bheidh an nimhiú sprioc, balla seomra bhfolús bunaithe taiscthe freisin scannán inslithe, a bhaint amach nach féidir leis an leictreoin anóid dul isteach ar an anóid, foirmiú feiniméan cealú anóid.
4, míniú fisiciúil ar nimhiú sprioc
(1) Go ginearálta, tá an comhéifeacht astaithe leictreon tánaisteach de chomhdhúile miotail níos airde ná sin de mhiotail.Tar éis an nimhiú sprice, is é dromchla an sprioc gach comhdhúile miotail, agus tar éis dó a bheith bombardaithe ag hiain, méadaíonn líon na leictreon tánaisteach a scaoiltear, rud a fheabhsaíonn seoltacht an spáis agus a laghdaíonn an impedance plasma, rud a fhágann go bhfuil voltas sputtering níos ísle.Laghdaíonn sé seo an ráta sputtering.Go ginearálta tá an voltas sputtering de magnetron sputtering idir 400V-600V, agus nuair a tharlaíonn nimhiú sprioc, laghdaítear an voltas sputtering go suntasach.
(2) Tá sprioc miotail agus sprioc cumaisc an ráta sputtering ar dtús difriúil, go ginearálta tá comhéifeacht sputtering miotail níos airde ná an comhéifeacht sputtering cumaisc, agus mar sin tá an ráta sputtering íseal tar éis an nimhiú sprioc.
(3) Tá éifeachtacht sputtering an gháis sputtering imoibríoch ar dtús níos ísle ná éifeachtacht sputtering an gháis támh, agus mar sin laghdaítear an ráta sputtering cuimsitheach tar éis comhréir na méaduithe gáis imoibríoch.
5, Réitigh le haghaidh nimhiú sprice
(1) Glacadh le soláthar cumhachta meánmhinicíochta nó soláthar cumhachta minicíochta raidió.
(2) Glacadh le rialú lúb dúnta ar an insreabhadh gáis imoibrithe.
(3) Glacadh le spriocanna dúbailte
(4) Rialú ar an modh sciath a athrú: Roimh an sciath, bailítear an cuar éifeacht hysteresis de nimhiú sprice ionas go mbeidh an sreabhadh aer inlet á rialú ag tosaigh táirgeadh nimhiú sprice chun a chinntiú go bhfuil an próiseas i gcónaí sa mhodh roimh an taisceadh. titeann an ráta go géar.
–Tá an t-alt seo foilsithe ag Guangdong Zhenhua Technology, monaróir trealamh sciath folúis.
Am postála: Nov-07-2022