Cumhdach ianmeaisín a tháinig ón teoiric a mhol DM Mattox sna 1960idí, agus cuireadh tús le turgnaimh chomhfhreagracha ag an am sin;Go dtí 1971, d'fhoilsigh Chambers agus daoine eile an teicneolaíocht plating ian bhíoma leictreon;Cuireadh an teicneolaíocht imoibríoch plating galú (ARE) in iúl i dtuarascáil Bunshah i 1972, nuair a tháirgtear cineálacha scannán sár-chrua ar nós TiC agus TiN;Chomh maith leis sin i 1972, ghlac Smith agus Molley an teicneolaíocht log catóide sa phróiseas brataithe.Faoi na 1980idí, bhí an leibhéal feidhme tionsclaíoch bainte amach ag an bplátáil ian sa tSín faoi dheireadh, agus bhí na próisis bhrataithe cosúil le plating ian il-stua bhfolús agus plating ian-stua-scaoilte le feiceáil i ndiaidh a chéile.
Is é seo a leanas an próiseas oibre iomlán maidir le plating ian bhfolús: ar dtús,caidéalan seomra folúis, agus ansinfanan brú bhfolús go 4X10 ⁻ ³ Panó níos fearr, is gá an soláthar cumhachta ardvoltais a nascadh agus limistéar plasma teocht íseal de ghás urscaoilte ísealvoltais a thógáil idir an tsubstráit agus an evaporator.Ceangail leictreoid an tsubstráit le 5000V DC diúltach ardvoltais chun urscaoileadh glow den chatóid a dhéanamh.Gintear iain gháis támha in aice leis an limistéar glow diúltach.Téann siad isteach sa limistéar dorcha catóide agus luasaítear iad ag an réimse leictreach agus bombardaíonn siad dromchla an tsubstráit.Is próiseas glantacháin é seo, agus ansin cuir isteach sa phróiseas sciath.Trí éifeacht téimh bombardú, déantar roinnt ábhar plating a vaporized.Téann an limistéar plasma isteach sna prótóin, imbhuaileann sé le leictreoin agus hiain gháis támh, agus tá cuid bheag acu ianaithe, Déanfaidh na hiain ianaithe seo le fuinneamh ard bombard ar dhromchla an scannáin agus feabhas a chur ar cháilíocht an scannáin go pointe áirithe.
Is é prionsabal na plating ian bhfolús ná: sa seomra folúis, ag baint úsáide as an bhfeiniméan urscaoilte gáis nó an chuid ianaithe den ábhar vaporized, faoi bhuamáil na n-ian ábhair ghalaithe nó na n-ian gáis, cuir na substaintí vaporized seo nó a n-imoibreoirí ar an tsubstráit ag an am céanna. chun scannán tanaí a fháil.An sciath ianmeaisíncomhcheanglaíonn galú bhfolús, teicneolaíocht plasma agus urscaoileadh glow gáis, rud a fheabhsaíonn ní hamháin cáilíocht an scannáin, ach freisin a leathnaíonn raon feidhme an scannáin.Is iad na buntáistí a bhaineann leis an bpróiseas seo ná díraonadh láidir, greamaitheacht scannán maith, agus ábhair bhrataithe éagsúla.Ba é DM Mattox a mhol prionsabal na plating ian ar dtús.Tá go leor cineálacha plating ian ann.Is é an cineál is coitianta ná téamh galú, lena n-áirítear téamh friotaíochta, téamh bhíoma leictreon, téamh bhíoma leictreon plasma, téamh ionduchtaithe ard-minicíochta agus modhanna téimh eile.
Am poist: Feabhra-14-2023