Teicneolaíocht sil-le-chúnamh le léas ian

Go deimhin, is teicneolaíocht ilchodach í teicneolaíocht sil-le-chúnamh le léas ian.Is teicníc cóireála ian dromchla ilchodach é a chomhcheanglaíonn ionchlannú ian agus teicneolaíocht scannáin taiscí gaile fisiciúil, agus cineál nua de theicníc optamaithe dromchla bhíoma ian.Chomh maith leis na buntáistí a bhaineann le taisceadh gaile fisiceach, is féidir leis an teicníc seo aon scannán tiús a fhás go leanúnach faoi choinníollacha rialaithe níos déine, feabhas a chur ar chriostalacht agus treoshuíomh an chiseal scannáin níos suntasaí, neart greamaitheachta na ciseal scannáin / tsubstráit a mhéadú, an dlús a fheabhsú den chiseal scannáin, agus scannáin chumaisc a shintéisiú le cóimheasa stoichiometric idéalach ag teocht an tseomra gar, lena n-áirítear cineálacha nua scannáin nach féidir a fháil ag teocht agus brú an tseomra.Ní hamháin go gcoimeádann sil-le-chúnamh bíomaí ian na buntáistí a bhaineann leis an bpróiseas ionchlannú ian, ach is féidir leis an tsubstráit a chlúdach freisin le scannán go hiomlán difriúil ón tsubstráit.
I ngach cineál sil-leagan fisiceach gaile agus taisceadh gaile ceimiceach, is féidir sraith de gunnaí ian bombardú cúnta a chur leis chun córas IBAD a fhoirmiú, agus tá dhá phróiseas ginearálta IBAD mar seo a leanas, mar a thaispeántar sa Pic:

Mar a léirítear i Pic (a), baintear úsáid as foinse galú léasa leictreoin chun an ciseal scannáin a ionradaíocht leis an léas ian a astaítear as an gunna ian, agus mar sin réadaítear an deascadh le léas iain le cúnamh.Is é an leas a bhaint as gur féidir fuinneamh agus treo an bhíoma ian a choigeartú, ach ní féidir ach cóimhiotal amháin nó teoranta, nó cumaisc a úsáid mar fhoinse galú, agus tá gach brú gaile den chomhpháirt cóimhiotail agus cumaisc difriúil, rud a fhágann go bhfuil sé deacair. chun an ciseal scannán de chomhdhéanamh foinse galú bunaidh a fháil.
Taispeánann Pic (b) an deascadh sputtering-chúnamh bíomaí ian, ar a dtugtar freisin taiscí sputtering bíoma ian dúbailte, ina bhfuil an sprioc déanta as ábhar sciath sputtering bhíoma ian, na táirgí sputtering a úsáidtear mar fhoinse.Agus é á thaisceadh ar an tsubstráit, baintear amach sil-leagan cuidithe le sputtering léas ian trí ionradaíocht le foinse ian eile.Is é an leas a bhaint as an modh seo ná go bhfuil fuinneamh áirithe ag na cáithníní sputtered féin, agus mar sin tá greamaitheacht níos fearr leis an tsubstráit;is féidir aon chomhpháirt den sprioc a sputtered sciath, ach freisin is féidir sputtering imoibriú isteach sa scannán, éasca a choigeartú an comhdhéanamh an scannán, ach tá a éifeachtacht sil-íseal, is é an sprioc costasach agus tá fadhbanna cosúil le sputtering roghnach.