Is féidir le trealamh sciath ilchodach de sputtering magnetron agus sciath ian il-stua cathodic oibriú ar leithligh agus ag an am céanna;is féidir scannán miotail íon, scannán cumaisc miotail nó scannán ilchodach a thaisceadh agus a ullmhú;is féidir a bheith ina sraith amháin de scannán agus ina scannán il-ciseal ilchodach.
Seo a leanas a buntáistí:
Ní hamháin go gcomhcheanglaíonn sé na buntáistí a bhaineann le bratuithe ian éagsúla agus cuireann sé san áireamh ullmhú agus taisceadh scannán tanaí do réimsí éagsúla iarratais, ach ceadaíonn sé freisin taisceadh agus ullmhú scannáin monolithic ilchiseal nó scannáin ilchodacha ilchiseal sa bhfolús céanna. seomra sciath ag aon am amháin.
Úsáidtear go forleathan úsáidí sraitheanna scannán taiscthe tá a theicneolaíochtaí i bhfoirmeacha éagsúla , na cinn tipiciúil mar a leanas:
(1) An cumaisc de sputtering maighnéadrón neamhchothromaithe agus teicneolaíocht plating ian cathodic.
Taispeántar a gléas mar seo a leanas.Is trealamh sciath cumaisc é de sprioc magnetron columnar agus sciath ian stua cathodic planar, atá oiriúnach le haghaidh scannán cumaisc sciath uirlisí agus sciath scannán maisiúil.Le haghaidh sciath uirlisí, úsáidtear an sciath ian stua cathodach don sciath bunchiseal, agus ansin úsáidtear an sprioc maighnéadrón colún chun nítríde agus sraitheanna scannáin eile a thaisceadh chun scannán dromchla uirlisí próiseála ardchruinneas a fháil.
Le haghaidh sciath maisiúil, is féidir scannáin maisiúil TiN agus ZrN a thaisceadh le sciath stua cathodach ar dtús, agus ansin dópáil le miotail ag baint úsáide as spriocanna maighnéadrón, agus tá an éifeacht dópála an-mhaith.
(2) An cumaisc de mhaighnéadrón dhá phlána agus de theicnící sciath ian stua catóide colún.Taispeántar an gléas mar seo a leanas.Úsáidtear an teicneolaíocht sprioc cúpla chun cinn, nuair a bhíonn dhá sprioc cúpla taobh le taobh nasctha leis an soláthar cumhachta meánmhinicíochta, ní hamháin go sáraíonn sé an sprioc-nimhiú de sputtering DC, dóiteáin agus míbhuntáistí eile;agus is féidir le Al203, scannán cáilíochta ocsaíd SiO2 a thaisceadh, ionas go mbeidh méadú agus feabhas tagtha ar fhriotaíocht ocsaídiúcháin na gcodanna brataithe.Sprioc il-stua Columnar suiteáilte i lár an seomra bhfolús, is féidir an t-ábhar sprioc a úsáid Ti agus Zr, ní hamháin a choimeád ar bun ar na buntáistí a bhaineann le ráta ard dissociation il-stua, ráta taisce, ach freisin is féidir a laghdú go héifeachtach "braoiníní" i Is féidir le próiseas taisceadh sprice il-stua eitleáin bheaga, porosity íseal scannáin miotail, scannáin chumaisc a thaisceadh agus a ullmhú.Má úsáidtear Al agus Si mar sprioc-ábhar do na spriocanna maighnéadrón déphlána atá suiteáilte ar an imeall, is féidir scannáin miotail-cheirmeacha Al203 nó Si0 a thaisceadh agus a ullmhú.Ina theannta sin, is féidir eitleáin bheaga iomadúla foinse galú il-stua a shuiteáil ar an imeall, agus is féidir a spriocábhar a bheith Cr nó Ni, agus is féidir scannáin miotail agus scannáin ilchodacha ilchiseal a thaisceadh agus a ullmhú.Dá bhrí sin, is teicneolaíocht sciath ilchodach é an teicneolaíocht sciath ilchodach seo le hiarratais iolracha.
Am postála: Nov-08-2022