Go ginearálta bíonn imoibrithe CVD ag brath ar theocht ard, dá bhrí sin tugtar sil-leagan ceimiceach gaile sceite (TCVD) air.De ghnáth úsáideann sé réamhtheachtaithe neamhorgánacha agus déantar é in imoibreoirí balla te agus balla fuar.I measc a mhodhanna téite tá téamh minicíocht raidió (RF), téamh radaíochta infridhearg, téamh friotaíochta, etc.
Soilsiú gaile ceimiceach balla te
I ndáiríre, is foirnéise teirmeastatach é imoibreoir taiscí gaile ceimiceach balla te, a théitear de ghnáth le heilimintí resistive, le haghaidh táirgeadh uaineach.Taispeántar líníocht de shaoráid táirgthe deascadh gaile ceimiceach balla te le haghaidh sciath uirlisí sliseanna mar seo a leanas.Is féidir leis an sil-leagan gaile ceimiceach balla te TN, TiC, TiCN agus scannáin tanaí eile a chóta.Is féidir an t-imoibreoir a dhearadh chun a bheith sách mór agus ansin líon mór comhpháirteanna a shealbhú, agus is féidir na coinníollacha a rialú go beacht maidir le sil-leagan.Taispeánann Pic 1 gléas ciseal epitaxial le haghaidh dópáil sileacain de tháirgeadh gléas leathsheoltóra.Cuirtear an tsubstráit san fhoirnéis i dtreo ingearach chun éilliú an dromchla taisce ag cáithníní a laghdú, agus an luchtú táirgeachta a mhéadú go mór.Is gnách go n-oibrítear imoibreoirí balla te le haghaidh táirgeadh leathsheoltóra ag brú íseal.
Am postála: Nov-08-2022