Inneal còmhdach sputtering gus dathan bogha-froise a chòmhdach
Tha sputtering Magnetron na sheòrsa de thasgadh vapor corporra.Faodar an dòigh sputtering coitcheann a chleachdadh airson còmhdach meatailt, semiconductor, insulator agus stuthan eile, agus tha na feartan aige de chomas luchdachadh mòr, furasta obrachadh, tha am film còmhdach gu math grinn agus rèidh, le deagh ghreamachadh agus mar sin air adhart.Faodaidh sputtering Magnetron an ìre sputtering àrdachadh le bhith a ’toirt a-steach raon magnetach air uachdar catod an targaid agus a’ cleachdadh cuingealachadh an raoin magnetach air na gràinean fo chasaid gus an dùmhlachd plasma àrdachadh.Tha inneal còmhdach falamh magnetron sputtering iomlan air a dhèanamh suas de iomadh pàirt, bidh gach siostam a ’crìochnachadh diofar dhleastanasan, agus mu dheireadh a’ coileanadh an còmhdach àrd-inbhe mu dheireadh.Tha an uidheamachd còmhdach optigeach magnetron sputtering air a dhèanamh suas de sheòmar falamh, bhalbhaichean, siostam pumpaidh falamh, siostam tomhais falamh, targaid catod, tomhas tiugh film, siostam smachd electro-pneumatic, msaa. tha am meud air a dhearbhadh a rèir meud an t-substrate toraidh agus comas an neach-cleachdaidh.Tha an seòmar air a dhèanamh de stàilinn stainless SUS304, nach eil furasta a mheirgeadh, nas seasmhaiche na stàilinn gualain agus furasta a chumail suas.Ghabh inneal ri teicneòlas còmhdach sputtering tricead meadhanach, còmhdach le stuthan ogsaid leithid silicon oxide agus niobium oxide msaa, le tomhas tiugh film gus film sgeadachaidh optigeach a dhèanamh.Tha adhesion làidir agus purrachd àrd aig an fhilm a chaidh a dhèanamh le inneal còmhdach optigeach magnetron sputtering, agus faodar a sputtered le measgachadh de stuthan le diofar phàirtean aig an aon àm.
Mar as trice bidh am pròiseas dath atharrachadh mean air mhean air a dhèanamh le inneal còmhdach optigeach sputtering magnetron.Aig an àm seo, tha còmhdach cùil mòran de fhònaichean-làimhe a’ gabhail ri còmhdach falamh PVD pròiseas dath atharrachadh mean air mhean.Gu dearbh, faodaidh inneal còmhdach optigeach agus inneal còmhdach falmhachaidh cuideachd buaidh bogha-froise seachd dath a dhèanamh, ach chan eil na dathan nan caiseadan cunbhalach agus tha eadar-dhealachaidhean càileachd ann fhathast.Tha sputtering Magnetron na sheòrsa de thasgadh vapor corporra.Faodar an dòigh sputtering coitcheann a chleachdadh airson còmhdach meatailt, semiconductor, insulator agus stuthan eile, agus tha na feartan aige de chomas luchdachadh mòr, furasta obrachadh, tha am film còmhdach gu math grinn agus rèidh, le deagh ghreamachadh agus mar sin air adhart.
Faodaidh sputtering Magnetron an ìre sputtering àrdachadh le bhith a ’toirt a-steach raon magnetach air uachdar catod an targaid agus a’ cleachdadh cuingealachadh an raoin magnetach air na gràinean fo chasaid gus an dùmhlachd plasma àrdachadh.Tha inneal còmhdach falamh magnetron sputtering iomlan air a dhèanamh suas de iomadh pàirt, bidh gach siostam a ’crìochnachadh diofar dhleastanasan, agus mu dheireadh a’ coileanadh an còmhdach àrd-inbhe mu dheireadh.Tha an uidheamachd còmhdach optigeach magnetron sputtering air a dhèanamh suas de sheòmar falamh, bhalbhaichean, siostam pumpaidh falamh, siostam tomhais falamh, targaid catod, tomhas tighead film, siostam smachd electro-pneumatic, msaa.
Is e seòmar falamh prìomh bhuidheann an còmhdach magnetron sputtering optigeach, tha am meud air a dhearbhadh le meud an t-substrate toraidh agus comas an neach-cleachdaidh.Tha an seòmar air a dhèanamh de stàilinn stainless SUS304, nach eil furasta a mheirgeadh, nas seasmhaiche na stàilinn gualain agus furasta a chumail suas.Ghabh inneal ri teicneòlas còmhdach sputtering tricead meadhanach, còmhdach le stuthan ogsaid leithid silicon oxide agus niobium oxide msaa, le tomhas tiugh film gus film sgeadachaidh optigeach a dhèanamh.Tha adhesion làidir agus purrachd àrd aig an fhilm a chaidh a dhèanamh le inneal còmhdach optigeach magnetron sputtering, agus faodar a sputtered le measgachadh de stuthan le diofar phàirtean aig an aon àm.