Bidh an uidheamachd a’ gabhail ri structar doras aghaidh dìreach agus cruth brabhsair.Faodaidh e a bhith uidheamaichte le stòran falmhachaidh airson meatailtean agus diofar stuthan organach, agus faodaidh e wafers silicon de dhiofar shònrachaidhean a ghluasad.Uidheamachadh le siostam co-thaobhadh mionaideach, tha an còmhdach seasmhach agus tha comas ath-aithris math aig a ’chòmhdach.
Faodaidh uidheamachd còmhdach GX600 stuthan organach no stuthan meatailt a ghluasad gu ceart, gu cothromach agus gu smachd air an t-substrate.Tha na buannachdan aige bho bhith a’ cruthachadh film sìmplidh, fìor ghlan agus àrd compactness.Faodaidh an siostam sgrùdaidh fìor-ùine tiugh film làn-fèin-ghluasadach dèanamh cinnteach à ath-aithris agus seasmhachd a’ phròiseis.Tha e uidheamaichte le gnìomh fèin-leaghadh gus an eisimeileachd air sgilean a’ ghnìomhaiche a lughdachadh.
Faodar an uidheamachd a chuir an sàs ann an Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti agus stuthan meatailt eile, agus faodar a chòmhdach le film meatailt, film còmhdach dielectric, film IMD, msaa tha e air a chleachdadh sa mhòr-chuid anns an semiconductor gnìomhachas, leithid innealan cumhachd, còmhdach substrate pacaidh cùil semiconductor, msaa.
GX600 | GX900 |
φ600*800(mm) | φ900* H1050(mm) |