Bidh an loidhne còmhdaich a ’gabhail ri structar modular, a dh’ fhaodas an seòmar àrdachadh a rèir a ’phròiseas agus riatanasan èifeachdais, agus faodar a chòmhdach air gach taobh, a tha sùbailte agus goireasach.Uidheamachadh le siostam glanaidh ian, siostam teasachaidh luath agus siostam sputtering DC magnetron, faodaidh e còmhdach meatailt sìmplidh a thasgadh gu h-èifeachdach.Tha buille luath aig an uidheamachd, clampadh goireasach agus àrd-èifeachdas.
Tha an loidhne còmhdaich uidheamaichte le glanadh ian agus siostam bèicearachd àrd-teòthachd, agus mar sin tha greimeachadh an fhilm tasgaidh nas fheàrr.Tha an ceàrn beag sputtering le targaid rothlach fàbharach airson tasgadh film air uachdar a-staigh fosgladh beag.
1. Tha structar teann agus làr beag aig an uidheamachd.
2. Tha an siostam falamh air a uidheamachadh le pumpa molecular airson a bhith a 'toirt a-mach èadhar, le caitheamh lùtha ìseal.
3. Bidh tilleadh fèin-ghluasadach de raca stuthan a ’sàbhaladh sgiobachd.
4. Faodar lorg a dhèanamh air paramadairean a’ phròiseas, agus faodar sùil a chumail air a’ phròiseas toraidh sa phròiseas gu lèir gus a bhith comasach air lorg fhaighinn air lochdan toraidh.
5. Tha ìre àrd fèin-ghluasaid aig an loidhne còmhdach.Faodar a chleachdadh leis an manipulator gus na pròiseasan aghaidh is cùil a cheangal agus cosgais saothair a lughdachadh.
Faodaidh e a dhol an àite clò-bhualadh paste airgid ann am pròiseas saothrachaidh capacitor, le èifeachdas nas àirde agus cosgais nas ìsle.
Tha e iomchaidh airson Ti, Cu, Al, Cr, Ni, Ag, Sn agus meatailtean sìmplidh eile.Chaidh a chleachdadh gu farsaing ann an co-phàirtean dealanach semiconductor, leithid fo-stratan ceirmeag, capacitors ceirmeag, taic ceirmeag air a stiùireadh, msaa.