1) Tha ìre cleachdaidh nas àirde aig targaidean siolandair na targaidean planar.Anns a ’phròiseas còmhdaich, ge bith an e seòrsa magnetach rothlach a th’ ann no targaid sputtering siolandair seòrsa tiùb rothlach, bidh a h-uile pàirt de uachdar an tiùb targaid gu leantainneach a ’dol tron raon sputtering a chaidh a chruthachadh air beulaibh an magnet maireannach gus sputtering catod fhaighinn, agus an faodar targaid a sputtered gu co-ionnan, agus tha an ìre cleachdaidh targaid àrd.Tha an ìre cleachdaidh de stuthan targaid timcheall air 80% ~ 90%.
2) Cha bhith e furasta targaidean siolandair “puinnseanachadh targaid” a thoirt gu buil.Tron phròiseas còmhdachaidh, bidh uachdar an tiùb targaid an-còmhnaidh air a spùtadh agus air a shnaidheadh le ions, agus chan eil e furasta ocsaidean tiugh agus filmichean inslitheach eile a chruinneachadh air an uachdar, agus chan eil e furasta “puinnseanachadh targaid” a thoirt gu buil.
3) Tha structar an targaid siolandair seòrsa tiùb targaid sputtering sìmplidh agus furasta a stàladh.
4) Tha diofar sheòrsaichean de stuth tiùb targaid siolandair.targaid planar le targaid meatailt fuarachadh uisge dìreach, agus chan urrainnear cuid a phròiseasadh agus a chruthachadh targaidean siolandair, leithid targaid In2-SnO2, msaa le stuth pùdar airson brùthadh isostatic teth gus targaidean coltach ri truinnsear fhaighinn, leis nach urrainnear am meud a dhèanamh mòr, agus brisg, agus mar sin feumar modh brazing agus backplate copair a chleachdadh gus amalachadh agus an uairsin a chuir a-steach air a’ bhunait targaid.A bharrachd air pìoban meatailt, faodar targaidean colbh a spìonadh air uachdar pìoban stàilinn gun staoin le diofar stuthan a dh’ fheumar a chòmhdach, leithid Si, Cr, msaa.
Aig an àm seo, tha a’ chuibhreann de thargaidean siolandair airson còmhdach ann an cinneasachadh gnìomhachais a’ dol am meud.Bidh targaidean siolandair chan ann a-mhàin a’ cleachdadh airson an inneal còmhdach dìreach ach cuideachd gan cleachdadh anns an inneal còmhdach rolla gu rolaigeadh.Anns na bliadhnachan mu dheireadh, mean air mhean tha na targaidean càraid siolandair air an cur an àite nan targaidean càraid planar.
—— Chaidh an artaigil seo fhoillseachadh le Guangdong Zhenhua Technology, aneach-dèanamh innealan còmhdach optigeach.
Ùine puist: Cèitean-11-2023