① Smachd math agus ath-aithris tighead film
Canar smachd tiugh film ris an gabh smachd a chumail air tiugh film aig luach ro-shuidhichte.Faodar an tighead film a tha a dhìth a dhèanamh a-rithist iomadh uair, ris an canar ath-sheasmhachd tighead film.A chionn faodar smachd a chumail air an t-sruth sgaoilidh agus an t-sruth targaid de chòmhdach sputtering falamh air leth.Mar sin, tha e comasach smachd a chumail air tiugh film sputtered, agus faodar am film le tiugh ro-shuidhichte a thasgadh gu earbsach.A bharrachd air an sin, faodaidh an còmhdach sputter film fhaighinn le tiugh èideadh air uachdar mòr.
② Gluasad làidir eadar film agus substrate
Tha lùth nan dadaman sputtered 1-2 òrdugh meudachd nas àirde na lùth dadaman falmhaichte.Tha tionndadh lùth nan dadaman sputtered àrd-lùth a tha air an tasgadh air an t-substrate mòran nas àirde na tionndadh nan dadaman falmhaichte, a ghineas teas nas àirde agus a leasaicheas an ceangal eadar na dadaman sputtered agus an t-substrate.A bharrachd air an sin, bidh cuid de dadaman sputtered làn lùth a’ toirt a-mach diofar ìrean de in-stealladh, a’ cruthachadh còmhdach pseudodiffusion air an t-substrate.A bharrachd air an sin, bidh an t-substrate an-còmhnaidh air a ghlanadh agus air a ghnìomhachadh anns an roinn plasma rè a ’phròiseas cruthachadh film, a bheir air falbh na dadaman sputtering le adhesion lag, agus a’ glanadh agus a ’gnìomhachadh uachdar an t-substrate.Mar sin, tha ceangal làidir aig an fhilm sputtered ris an t-substrate.
③ Faodar film stuth ùr eadar-dhealaichte bhon targaid ullachadh
Ma thèid gas reactive a thoirt a-steach aig àm sputtering gus toirt air freagairt leis an targaid, gheibhear film stuth ùr gu tur eadar-dhealaichte bhon targaid.Mar eisimpleir, thathas a’ cleachdadh silicon mar an targaid sputtering, agus tha ocsaidean agus argon air an cur a-steach don t-seòmar falamh còmhla.Às deidh sputtering, gheibhear film inslithe SiOz.A’ cleachdadh titanium mar an targaid sputtering, thèid nitrigin agus argon a chuir a-steach don t-seòmar falamh còmhla, agus gheibhear film coltach ri òr ìre TiN às deidh sputtering.
④ Àrd-ghlanachd agus deagh chàileachd film
Leis nach eil pàirt crucible anns an inneal ullachaidh film sputtering, cha bhith na pàirtean den stuth teasachaidh crucible air a mheasgachadh anns an t-sreath film sputtering.Is e na h-eas-bhuannachdan a tha ann an còmhdach sputtering gu bheil astar cruthachadh film nas slaodaiche na ìre còmhdach falmhachaidh, tha teòthachd an t-substrate nas àirde, tha e furasta a bhith fo bhuaidh gas neo-chunbhalachd, agus tha structar an inneil nas iom-fhillte.
Tha an artaigil seo air fhoillseachadh le Guangdong Zhenhua, neach-dèanamh deuidheamachd còmhdach falamh
Ùine puist: Mar-09-2023