1. Tha claonadh an workpiece ìosal
Mar thoradh air inneal a chuir ris gus an ìre ionization àrdachadh, tha an dùmhlachd sruth sgaoilidh air a mheudachadh, agus tha an bholtadh claon air a lughdachadh gu 0.5 ~ 1kV.
Tha an backsputtering air adhbhrachadh le cus bhomadh de ianan àrd-lùth agus a’ bhuaidh milleadh air uachdar an obair-obrach air an lughdachadh.
2. Meudachadh dùmhlachd plasma
Chaidh diofar cheumannan gus ionization bualadh a bhrosnachadh, agus tha an ìre ionization meatailt air a dhol suas bho 3% gu còrr air 15%.Tha dùmhlachd ionsan smiogaid agus dadaman àrd-lùth neodrach, ions nitrogen, dadaman gnìomhach àrd-lùth agus buidhnean gnìomhach anns an t-seòmar còmhdaich air a mheudachadh, a tha cuideachail don ath-bhualadh gus todhar a chruthachadh.Tha na diofar theicneòlasan còmhdach ian sgaoilidh glaodh leasaichte gu h-àrd air a bhith comasach air sreathan film cruaidh TN fhaighinn le bhith a’ tasgadh ath-bhualadh aig dùmhlachd plasma nas àirde, ach leis gu bheil iad a ’buntainn ris an t-seòrsa sgaoilidh glow, chan eil an dùmhlachd sruth sgaoilidh àrd gu leòr (fhathast ìre mA / cm2 ), agus chan eil an dùmhlachd plasma iomlan àrd gu leòr, agus tha am pròiseas còmhdach còmhdach tasgaidh ath-bhualadh duilich.
3. Tha an raon còmhdach de stòr falmhachaidh puing beag
Bidh diofar theicneòlasan còmhdach ian leasaichte a’ cleachdadh stòran falmhachaidh giùlan dealanach, agus gantu mar stòr falmhachaidh puing, a tha cuingealaichte ri eadar-ama sònraichte os cionn gantu airson tasgadh ath-bhualadh, agus mar sin tha an cinneasachd ìosal, tha am pròiseas duilich, agus tha e duilich gnìomhachas a dhèanamh.
4. Obrachadh àrd-bhruthadh gunna dealanach
Is e bholtadh gunna dealanach 6 ~ 30kV, agus is e bholtachd claonadh an workpiece 0.5 ~ 3kV, a bhuineas do ghnìomhachd bholtachd àrd agus aig a bheil cunnartan sàbhailteachd sònraichte.
—— Chaidh an artaigil seo fhoillseachadh le Guangdong Zhenhua Technology, aneach-dèanamh innealan còmhdach optigeach.
Ùine puist: Cèitean-12-2023