Bidh an teicneòlas tasgaidh ceò ceimigeach plasma leasaichte arc uèir teth a’ cleachdadh an gunna arc uèir teth gus arc plasma a leigeil a-mach, air a ghiorrachadh mar theicneòlas arc uèir teth PECVD.Tha an teicneòlas seo coltach ris an teicneòlas còmhdach ian gunna uèir teth, ach is e an eadar-dhealachadh gu bheil am film cruaidh a gheibhear le còmhdach ian gunna arc uèir teth a ’cleachdadh an t-sruth dealan-solais arc a bhios an gunna arc uèir teth a’ sgaoileadh gus am meatailt a theasachadh agus a ghluasad a-steach. an breabadair, fhad ‘s a tha an solas arc uèir teth PECVD air a bhiadhadh le gasaichean freagairt, leithid CH4 agus H2, a thathas a’ cleachdadh airson filmichean daoimean a thasgadh.Le bhith an urra ris an t-sruth sgaoilidh arc àrd-dùmhlachd a tha an gunna arc uèir teth a’ sgaoileadh, tha na h-ianan gas reactive air bhioran gus grunn ghràinean gnìomhach fhaighinn, a’ toirt a-steach ions gas, ions atamach, buidhnean gnìomhach, agus mar sin air adhart.
Anns an inneal PECVD arc uèir teth, tha dà choil electromagnetic fhathast air an cur a-steach taobh a-muigh an t-seòmar còmhdaich, ag adhbhrachadh gum bi an sruth dealanach àrd-dùmhlachd a ’tionndadh tron ghluasad a dh’ ionnsaigh an anod, a ’meudachadh coltachd bualadh agus ionization eadar an sruth dealanach agus an gas freagairt .Faodaidh an coil electromagnetic cuideachd tighinn còmhla ann an colbh arc gus dùmhlachd plasma an t-seòmar tasgaidh gu lèir àrdachadh.Ann am plasma arc, tha dùmhlachd nam mìrean gnìomhach sin àrd, ga dhèanamh nas fhasa filmichean daoimean agus sreathan film eile a thasgadh air a ’phìos obrach.
—— Chaidh an artaigil seo fhoillseachadh le Guangdong Zhenhua Technology, aneach-dèanamh innealan còmhdach optigeach.
Ùine puist: Cèitean-05-2023