1. Teicneòlas CVD teirmeach
Is e còmhdach ceirmeag meatailt a th’ ann an còmhdach cruaidh sa mhòr-chuid (TiN, msaa), a tha air an cruthachadh le ath-bhualadh meatailt anns a’ chòmhdach agus gasachadh reactive.An toiseach, chaidh an teicneòlas CVD teirmeach a chleachdadh gus lùth gnìomhachaidh ath-bhualadh measgachadh le lùth teirmeach a thoirt seachad aig teòthachd àrd de 1000 ℃.Chan eil an teòthachd seo freagarrach ach airson TiN agus còmhdach cruaidh eile a thasgadh air innealan carbide saimeant.Gu ruige seo, tha e fhathast na theicneòlas cudromach airson còmhdach co-dhèanta TiN-Al20 a thasgadh air cinn innealan carbide saimeant.
2. Còmhdach ian catod falamh agus còmhdach ian arc uèir teth
Anns na 1980n, chaidh còmhdach ian catod falamh agus còmhdach ian arc uèir teth a chleachdadh gus innealan gearraidh còmhdaichte a thasgadh.Tha an dà theicneòlas còmhdach ian sin nan teicneòlasan còmhdach ian sgaoilidh arc, le ìre ianachaidh meatailt suas ri 20% ~ 40%.
3. Còmhdach ion arc catod
Tha nochdadh còmhdach arc ian cathodic air leantainn gu leasachadh an teicneòlais airson còmhdach cruaidh a thasgadh air molltairean.Is e an ìre ionization de chòmhdach ian arc cathodic 60% ~ 90%, a’ leigeil le àireamh mhòr de ianan meatailt agus ianan gas ath-bhualadh uachdar a ’phìos obrach a ruighinn agus gnìomhachd àrd a chumail fhathast, a’ leantainn gu tasgadh ath-bhualadh agus cruthachadh còmhdach cruaidh leithid TiN.Aig an àm seo, thathas a’ cleachdadh teicneòlas còmhdach arc ian cathodic sa mhòr-chuid gus còmhdach cruaidh a thasgadh air molltairean.
Tha an stòr arc catode na stòr falmhachaidh stàite cruaidh às aonais amar leaghte stèidhichte, agus faodar suidheachadh stòr arc a chuir gu neo-riaghailteach, ag adhartachadh ìre cleachdadh àite an t-seòmar còmhdaich agus ag àrdachadh comas luchdachadh an fhùirneis.Tha cumaidhean stòran arc catod a’ toirt a-steach stòran arc catod cruinn, stòran arc colbh, agus stòran arc mòr còmhnard ceart-cheàrnach.Faodar diofar phàirtean de stòran arc beaga, stòran arc colbh, agus stòran arc mòr a chuir air dòigh air leth gus filmichean ioma-fhilleadh agus filmichean nano multilayer a thasgadh.Aig an aon àm, mar thoradh air an ìre ionachaidh meatailt àrd de chòmhdach arc ian cathodic, faodaidh ions meatailt barrachd gasaichean ath-bhualadh a ghabhail a-steach, a’ leantainn gu raon pròiseas farsaing agus obrachadh sìmplidh gus còmhdach cruaidh sàr-mhath fhaighinn.Ach, tha boinneagan garbh ann am microstructure an t-sreath còmhdaich a gheibhear le còmhdach ian arc cathodic.Anns na beagan bhliadhnaichean a dh ’fhalbh, tha mòran theicneòlasan ùra air nochdadh gus structar còmhdach film ùrachadh, a tha air càileachd an fhilm còmhdach arc ian a leasachadh.
—— Chaidh an artaigil seo fhoillseachadh le Guangdong Zhenhua Technology, aneach-dèanamh innealan còmhdach optigeach.
Ùine puist: Giblean-28-2023