Pròiseas polymerization dìreach plasma
Tha am pròiseas polymerization Plasma gu ìre mhath sìmplidh airson an dà chuid uidheamachd polymerization electrode a-staigh agus uidheamachd polymerization electrode taobh a-muigh, ach tha taghadh paramadair nas cudromaiche ann am polymerization Plasma, leis gu bheil buaidh nas motha aig paramadairean air structar agus coileanadh filmichean polymer rè polymerization Plasma.
Tha na ceumannan obrachaidh airson polymerization plasma dìreach mar a leanas:
(1) Vacuuming
Bu chòir cùl-raon polymerization fo chumhachan falamh a phumpadh gu 1.3 × 10-1Pa.Airson ath-bheachdan polymerization a dh ’fheumas riatanasan sònraichte airson smachd a chumail air susbaint ocsaidean no nitrogen, tha an riatanas falamh cùil eadhon nas àirde.
(2) Monomer freagairt cosgais no gas measgaichte de ghas giùlain agus monomer
Is e an ìre falamh 13-130Pa.Airson polymerization Plasma a dh ’fheumas obair, thèid modh smachd sruthadh iomchaidh agus ìre sruthadh a thaghadh, sa chumantas 10.100mL / min.Ann am plasma, tha moileciuilean monomer air an ionachadh agus air an dealachadh le bhith a’ spreadhadh mìrean lùthmhor, a’ leantainn gu mìrean gnìomhach leithid ions agus ginean gnìomhach.Faodaidh na mìrean gnìomhach a tha air an cur an gnìomh le plasma a dhol tro polymerization Plasma aig eadar-aghaidh ìre gas agus ìre chruaidh.Is e am monomer an stòr ro-ruithear airson polymerization Plasma, agus bidh purrachd sònraichte aig gas freagairt cuir a-steach agus monomer.
(3) Taghadh solar cumhachd excitation
Faodar plasma a chruthachadh a ’cleachdadh stòran cumhachd DC, àrd-tricead, RF, no microwave gus àrainneachd plasma a thoirt seachad airson polymerization.Tha taghadh solar cumhachd air a dhearbhadh a rèir riatanasan structar agus coileanadh an polymer.
(4) Taghadh modh sgaoilidh
Airson riatanasan polymer, faodaidh polymerization Plasma dà dhòigh sgaoilidh a thaghadh: sgaoileadh leantainneach no sgaoileadh cuisle.
(5) Taghadh de pharamadairean sgaoilidh
Nuair a bhios tu a’ dèanamh polymerization Plasma, feumar beachdachadh air paramadairean sgaoilidh bho pharamadairean plasma, feartan polymer agus riatanasan structair.Tha meud a’ chumhachd gnìomhaichte rè polymerization air a dhearbhadh a rèir meud an t-seòmair falamh, meud electrode, ìre sruthadh monomer agus structar, ìre polymerization, agus structar agus coileanadh polymer.Mar eisimpleir, ma tha meud an t-seòmair ath-bhualadh 1L agus ma thèid gabhail ri polymerization RF Plasma, bidh an cumhachd sgaoilidh anns an raon de 10 ~ 30W.Fo chumhachan mar sin, faodaidh am plasma a thèid a chruthachadh cruinneachadh gus film tana a chruthachadh air uachdar a ’phìos obrach.Bidh an ìre fàis de fhilm polymerization Plasma ag atharrachadh a rèir solar cumhachd, seòrsa monomer agus ìre sruthadh, agus suidheachaidhean pròiseas.San fharsaingeachd, is e an ìre fàis 100nm / min ~ 1um / min.
(6) Tomhas paramadair ann am polymerization Plasma
Tha na paramadairean plasma agus na paramadairean pròiseas a thèid a thomhas ann am polymerization Plasma a’ toirt a-steach: bholtadh sgaoilidh, sruth sgaoilidh, tricead sgaoilidh, teòthachd dealanach, dùmhlachd, seòrsa buidheann freagairt agus dùmhlachd, msaa.
—— Chaidh an artaigil seo fhoillseachadh le Guangdong Zhenhua Technology, aneach-dèanamh innealan còmhdach optigeach.
Ùine puist: Cèitean-05-2023