Tha sputtering magnetron falamh gu sònraichte freagarrach airson còmhdach tasgaidh reactive.Gu dearbh, faodaidh am pròiseas seo filmichean tana de stuthan ogsaid, carbide agus nitride sam bith a thasgadh.A bharrachd air an sin, tha am pròiseas cuideachd gu sònraichte freagarrach airson a bhith a’ tasgadh structaran film ioma-fhilleadh, a’ toirt a-steach dealbhadh optigeach, filmichean dathte, còmhdach caitheamh-dhìonach, nano-laminates, còmhdach superlattice, filmichean inslitheach, msaa. chaidh eisimpleirean tasgaidh a leasachadh airson measgachadh de stuthan còmhdach film optigeach.Tha na stuthan sin a’ toirt a-steach stuthan giùlain follaiseach, semiconductors, polymers, oxides, carbides, agus nitrides, fhad ‘s a thathas a’ cleachdadh fluorides ann am pròiseasan leithid còmhdach evaporative.
Is e prìomh bhuannachd a ’phròiseas sputtering magnetron a bhith a’ cleachdadh pròiseasan còmhdach reactive no neo-reactive gus sreathan de na stuthan sin a thasgadh agus smachd math a dhèanamh air co-dhèanamh còmhdach, tighead film, èideadh tighead film agus feartan meacanaigeach an t-sreath.Tha na feartan a leanas aig a 'phròiseas.
1 , Ìre tasgaidh mòr.Mar thoradh air a bhith a’ cleachdadh dealanan magnetron àrd-astar, gheibhear sruth ian mòr, a’ leasachadh gu h-èifeachdach ìre tasgaidh agus ìre sputtering a’ phròiseas còmhdaich seo.An coimeas ri pròiseasan còmhdach sputtering eile, tha comas àrd agus toradh àrd aig sputtering magnetron, agus tha e air a chleachdadh gu farsaing ann an grunn chinneasachadh gnìomhachais.
2, Àrd èifeachdas cumhachd.Mar as trice bidh targaid sputtering Magnetron a 'taghadh an bholtadh taobh a-staigh raon 200V-1000V, mar as trice tha 600V, oir tha an bholtadh 600V dìreach taobh a-staigh an raon èifeachdach as àirde de èifeachdas cumhachd.
3. Lùth sputtering ìseal.Tha bholtadh targaid magnetron air a chuir an sàs ìosal, agus tha an raon magnetach a’ cuingealachadh a ’phlasma faisg air a’ chatod, a chuireas casg air gràineanan le lùth nas àirde bho bhith a ’cur air bhog air an t-substrate.
4, Teòthachd substrate ìosal.Faodar an anod a chleachdadh gus na dealanan a thèid a chruthachadh aig àm an leigeil a-mach a stiùireadh, chan eil feum air taic an t-substrate airson a chrìochnachadh, a dh’ fhaodadh spreadhadh dealanach an t-substrate a lughdachadh gu h-èifeachdach.Mar sin tha teòthachd an t-substrate ìosal, a tha air leth freagarrach airson cuid de fho-stratan plastaig nach eil gu mòr an aghaidh còmhdach teòthachd àrd.
5, Magnetron sputtering sgudal uachdar targaid chan eil e èideadh.Tha sputtering magnetron air uachdar targaid neo-chòmhnard air adhbhrachadh le raon magnetach neo-chòmhnard an targaid.Tha suidheachadh an ìre sgudail targaid nas motha, gus am bi ìre cleachdaidh èifeachdach na targaid ìosal (dìreach ìre cleachdaidh 20-30%).Mar sin, gus cleachdadh targaid a leasachadh, feumar cuairteachadh an raoin magnetach atharrachadh le dòighean sònraichte, no faodaidh cleachdadh magnets a tha a ’gluasad anns a’ chatod cuideachd an cleachdadh targaid a leasachadh.
6, cuimseach targaid.Is urrainn dha film alloy còmhdach targaid iom-fhillte a dhèanamh.Aig an àm seo, tha cleachdadh pròiseas sputtering targaid magnetron measgaichte air a bhith air a chòmhdach gu soirbheachail air film alloy Ta-Ti, (Tb-Dy) -Fe agus Gb-Co.Tha ceithir seòrsaichean ann an structar targaid iom-fhillte, fa leth, is e an targaid cruinn inlaid, targaid ceàrnagach a-staigh, targaid inlaid ceàrnagach beag agus targaid inlaid roinne.Tha e nas fheàrr structar targaid inlaid na roinne a chleachdadh.
7. Raon farsaing de thagraidhean.Faodaidh pròiseas sputtering Magnetron mòran eileamaidean a thasgadh, is iad an fheadhainn cumanta: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti , Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO, etc.
Is e sputtering Magnetron aon de na pròiseasan còmhdachaidh as fharsainge a thathas a’ cleachdadh airson filmichean àrd-inbhe fhaighinn.Le catod ùr, tha cleachdadh targaid àrd aige agus ìre tasgaidh àrd.Tha pròiseas còmhdach sputtering magnetron falamh Guangdong Zhenhua Technology a-nis air a chleachdadh gu farsaing ann a bhith a ’còmhdach fo-stratan sgìreil.Tha am pròiseas air a chleachdadh chan ann a-mhàin airson tasgadh film aon-fhillte, ach cuideachd airson còmhdach film ioma-fhilleadh, a bharrachd air an sin, tha e cuideachd air a chleachdadh anns a ’phròiseas rolla gu rolla airson film pacaidh, film optigeach, lamination agus còmhdach film eile.
Ùine puist: Samhain-07-2022