Tha pròiseas còmhdach ian stòr cathodic gu ìre mhòr an aon rud ri teicneòlasan còmhdaich eile, agus chan eilear a’ dèanamh ath-aithris air cuid de dh’ obraichean leithid a bhith a’ cur a-steach pìosan obrach agus falmhachadh.
1.Bombardment glanadh workpieces
Mus tèid a chòmhdach, thèid gas argon a thoirt a-steach don t-seòmar còmhdaich le falamh de 2 × 10-2Pa.
Tionndaidh air an solar cumhachd claonadh cuisle, le cearcall dleastanais de 20% agus claonadh workpiece de 800-1000V.
Nuair a thèid an cumhachd arc a thionndadh air, thèid sgaoileadh solais arc achadh fuar a chruthachadh, a bhios a ’sgaoileadh mòran de shruth dealanach agus sruth ian titanium bhon stòr arc, a’ cruthachadh plasma dùmhlachd àrd.Bidh an ian titanium a’ luathachadh an stealladh a-steach don phìos obrach fon chuideam àrd àicheil a chuirear air a ’phìos obrach, a’ spreadhadh agus a ’spùtadh an gas a tha air fhàgail agus na truaillearan a tha air an còmhdach air uachdar a’ phìos obrach, agus a ’glanadh agus a’ glanadh uachdar a ’phìos obrach;Aig an aon àm, tha an gas clorine anns an t-seòmar còmhdaich air a ionachadh le dealanan, agus bidh ions argon a ’luathachadh spreadhadh uachdar an obair-obrach.
Mar sin, tha buaidh glanadh spreadhaidh math.Is e dìreach mu mhionaid 1 de ghlanadh spreadhaidh as urrainn an obair-obrach a ghlanadh, ris an canar “prìomh bhomadh arc”.Mar thoradh air an ìre àrd de ianan titanium, ma thèid stòr arc beag a chleachdadh gus am pìos obrach a bhomadh agus a ghlanadh ro fhada, tha teòthachd an obair-obrach dualtach cus teasachadh, agus faodaidh oir an inneil fàs bog.Ann an cinneasachadh coitcheann, bidh stòran arc beaga air an tionndadh air aon às deidh aon bho mhullach gu bonn, agus tha ùine glanadh bhomaidh timcheall air 1 mionaid aig gach stòr arc beag.
（1） A’ còmhdach còmhdach bonn titanium
Gus an ceangal eadar am film agus an t-substrate a leasachadh, mar as trice bidh còmhdach de substrate titanium fìor-ghlan air a chòmhdach mus tèid titanium nitride a chòmhdach.Atharraich an ìre falamh gu 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, atharraich bholtadh bias an obair-obrach gu 400-500V, agus atharraich cearcall dleastanais solar cumhachd claonadh cuisle gu 40% ~ 50%.Fhathast a’ lasadh stòran arc beaga aon às deidh a chèile gus sgaoileadh fuar achadh fuar a ghineadh.Mar thoradh air an lùghdachadh ann an bholtachd claon àicheil a’ phìos obrach, tha lùth ions titanium a’ dol sìos.Às deidh dha am pìos obrach a ruighinn, tha a ’bhuaidh sputtering nas lugha na a’ bhuaidh tasgaidh, agus tha còmhdach gluasaid titanium air a chruthachadh air a ’phìos obrach gus an neart ceangail eadar an còmhdach film cruaidh titanium nitride agus an t-substrate a leasachadh.Tha am pròiseas seo cuideachd na phròiseas teasachaidh an workpiece.Nuair a thèid an targaid titanium fìor-ghlan a leigeil ma sgaoil, tha an solas anns a 'phlasma gorm azure.
1.Ammoniated bobhla còmhdach film cruaidh
Atharraich an ìre falamh gu 3 × 10-1-5Pa, atharraich bholtaids bias an workpiece gu 100-200V, agus atharraich cearcall dleastanais solar cumhachd claonadh cuisle gu 70% ~ 80%.Às deidh naitridean a thoirt a-steach, tha titanium na fhreagairt cothlamadh leis a ’phlasma sgaoilidh arc gus film cruaidh titanium nitride a thasgadh.Aig an ìre seo, tha solas a’ phlasma anns an t-seòmar falamh dearg cherry.Ma tha C2H2, o2, msaa air an toirt a-steach, TiCN, TiO2, msaa gheibhear sreathan film.
-Chaidh an artaigil seo fhoillseachadh le Guangdong Zhenhua, aneach-dèanamh inneal còmhdach falamh
Ùine puist: Jun-01-2023