Tha ancòmhdach falamhTha pròiseas inneal air a roinn ann an: còmhdach falmhachaidh falamh, còmhdach sputtering falamh agus còmhdach ian falamh.
1 、 Vacuum evaporation còmhdach
Fo staid falamh, dèan an stuth air a ghluasad ， leithid meatailt, alloy meatailt, msaa, an uairsin cuir a-steach iad air uachdar an t-substrate, bidh an dòigh còmhdach falmhachaidh gu tric a ’cleachdadh teasachadh an aghaidh, agus an uairsin spreadhadh giùlan dealanach den stuth còmhdaich, dèan iad. air a ghluasad gu ìre gas, an uairsin tasgadh air uachdar an t-substrate, gu h-eachdraidheil, is e tasgadh vapor falamh an teicneòlas as tràithe a chaidh a chleachdadh ann an dòigh PVD.
2, còmhdach sputtering
Tha an gas fo smachd glaodhadh fo chumhachan falamh làn (Ar) Aig an àm seo tha an ian argon (Ar) a-steach do ianan nitrogen (Ar), Tha na h-ianan air an luathachadh le feachd an raoin dealain ， agus a’ spreadhadh an targaid catod a tha air a dhèanamh den stuth còmhdaich, thèid an targaid a spùtadh a-mach agus a thasgadh air uachdar an t-substrate tha ions tachartas ann an còmhdach sputter, a gheibhear mar as trice le bhith a ’sgaoileadh glow, anns an raon de 10-2pa gu 10Pa ， Mar sin tha na gràinean sputtered furasta am bualadh leis na moileciuilean gas anns an t-seòmar falamh nuair a bhios iad ag itealaich a dh’ ionnsaigh an t-substrate, a ’dèanamh stiùireadh gluasad air thuaiream agus am film tasgaidh furasta a bhith èideadh.
3, còmhdach ion
Fo chumhachan falamh, Fo chumhachan falamh, Chleachd sinn dòigh ionachaidh plasma sònraichte gus na h-ataman stuth còmhdaich a ionachadh gu ìre gu ions. air an tasgadh air uachdar an t-substrate fo chlaonadh domhainn àicheil gus film tana a chruthachadh.
Ùine puist: Mar-23-2023