Is e còmhdach PVD aon de na prìomh theicneòlasan airson a bhith ag ullachadh stuthan film tana
Bidh an còmhdach film a ’toirt uachdar an toraidh le inneach meatailt agus dath beairteach, a’ leasachadh caitheamh caitheamh agus strì an aghaidh creimeadh, agus a ’leudachadh beatha na seirbheis.
Is e sputtering agus falmhachadh falamh an dà dhòigh còmhdach PVD as gnàthach.
1, Mìneachadh
Tha tasgadh vapor corporra na sheòrsa de dhòigh fàs ath-bhualadh bhalbhaichean corporra.Tha am pròiseas tasgaidh air a dhèanamh fo chumhachan sgaoilidh gas falamh no le cuideam ìosal, is e sin, ann am plasma aig teòthachd ìosal.
Is e stòr stuth an còmhdach stuth cruaidh.Às deidh “evaporation or sputtering”, tha còmhdach stuth cruaidh ùr gu tur eadar-dhealaichte bho choileanadh bun-stuth air a chruthachadh air uachdar na pàirt.
2 、 Pròiseas bunaiteach de chòmhdach PVD
1. Sgaoileadh mìrean bho stuthan amh (tro falmhachadh, sublimation, sputtering agus lobhadh);
2. Tha na mìrean air an giùlan chun an t-substrate (bidh na mìrean a 'bualadh air a chèile, a' leantainn gu ionization, ath-chuairteachadh, ath-bheothachadh, iomlaid lùth agus atharrachadh stiùireadh gluasad);
3. Bidh na mìrean a' dùmhlachadh, a' nucleate, a' fàs agus a' cruthachadh film air an fho-strat.
Ùine puist: Faoilleach-31-2023